10x10mm ନନ୍ପୋଲାର୍ M- ବିମାନ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ |

ଆଇଟମ୍

ଉତ୍ପାଦନ

ଅନୁସନ୍ଧାନ |

ଡମି

ସ୍ଫଟିକ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ |

ପଲିଟାଇପ୍ |

4H

ସର୍ଫେସ୍ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ତ୍ରୁଟି |

<11-20> 4 ± 0.15 ° |

ବ Elect ଦ୍ୟୁତିକ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ |

ଡୋପାଣ୍ଟ |

n- ପ୍ରକାର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ |

ପ୍ରତିରୋଧକତା |

0.015-0.025ohm · cm

ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ |

ବ୍ୟାସ

150.0 ± 0.2 ମିମି

ମୋଟା |

350 ± 25 μm

ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଆଭିଏଣ୍ଟେସନ୍ |

[1-100] ± 5 ° |

ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ |

47.5 ± 1.5 ମିମି

ଦ୍ Secondary ିତୀୟ ଫ୍ଲାଟ |

କିଛି ନୁହେଁ |

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

ଧନୁ

-15μm ~ 15μm |

-35μm ~ 35μm |

-45μm ~ 45μm |

ଯୁଦ୍ଧ

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

ସାମ୍ନା (ସି-ଚେହେରା) ରୁଗ୍ଣତା (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ଗଠନ

ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ସାନ୍ଧ୍ରତା |

<1 ea / cm2

<10 ea / cm2

<15 ea / cm2

ଧାତୁ ଅଶୁଦ୍ଧତା |

≤5E10atoms / cm2 |

NA

BPD

≤1500 ea / cm2 |

0003000 ea / cm2 |

NA

TSD

≤500 ea / cm2 |

0001000 ea / cm2 |

NA

ଆଗ ଗୁଣବତ୍ତା |

ଆଗ

Si

ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଶେଷ

ସି-ମୁହଁ CMP

କଣିକା |

≤60ea / wafer (size≥0.3μm)

NA

ସ୍କ୍ରାଚ୍ |

≤5ea / mm ସଂଗୃହିତ ଲମ୍ବ ≤ ଡାଇମିଟର |

ସଂକଳନ ଦ length ର୍ଘ୍ୟ≤2 * ବ୍ୟାସ |

NA

କମଳା ଚୋପା / ଗର୍ତ୍ତ / ଦାଗ / ଷ୍ଟ୍ରିଏସନ୍ / ଫାଟ / ପ୍ରଦୂଷଣ |

କିଛି ନୁହେଁ |

NA

ଏଜ୍ ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍ / ଫ୍ରାକଚର୍ / ହେକ୍ସ ପ୍ଲେଟ୍ |

କିଛି ନୁହେଁ |

ପଲିଟାଇପ୍ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡିକ |

କିଛି ନୁହେଁ |

ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤20% |

ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤30% |

ଆଗ ଲେଜର ମାର୍କିଂ |

କିଛି ନୁହେଁ |

ପଛ ଗୁଣ

ପଛକୁ ଶେଷ

C- ମୁହଁ CMP |

ସ୍କ୍ରାଚ୍ |

≤5ea / mm, ସଂଗୃହିତ ଲମ୍ବ≤2 * ବ୍ୟାସ |

NA

ପଛ ଦୋଷ (ଧାର ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍)

କିଛି ନୁହେଁ |

ପଛ ରୁଗ୍ଣତା |

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

ପଛ ଲେଜର ମାର୍କିଂ |

1 ମିମି (ଉପର ଧାରରୁ)

ଧାର

ଧାର

ଚାମ୍ଫର୍ |

ପ୍ୟାକେଜିଂ

ପ୍ୟାକେଜିଂ

ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସହିତ ଏପି-ପ୍ରସ୍ତୁତ |

ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ |

* ଟିପ୍ପଣୀ ： "NA" ର ଅର୍ଥ କ no ଣସି ଅନୁରୋଧ ଆଇଟମଗୁଡିକ SEMI-STD କୁ ସୂଚିତ କରିପାରିବ ନାହିଁ |