ସେମିସେରାର 2 ~ 6 ଇଞ୍ଚ 4 ° ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ P- ପ୍ରକାର 4H-SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଶକ୍ତି ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ଡିଭାଇସ୍ ଉତ୍ପାଦକଙ୍କ ବ growing ୁଥିବା ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ହୋଇଛି | 4 ° ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ଅପ୍ଟିମାଇଜଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ଏହି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ MOSFET, IGBT, ଏବଂ ଡାୟୋଡ୍ ସହିତ ବିଭିନ୍ନ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ପାଇଁ ଏକ ଆଦର୍ଶ ଭିତ୍ତିଭୂମି କରିଥାଏ |
ଏହି 2 ~ 6 ଇଞ୍ଚ 4 ° ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ P- ପ୍ରକାର 4H-SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ରେ ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବ electrical ଦୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍ଥିରତା ସହିତ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପଦାର୍ଥ ଗୁଣ ରହିଛି | ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତାକୁ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ସୁଗମ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରଗୁଡିକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରେ, ଯାହା ଅନ୍ତିମ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
ସେମିସେରାର 2 ~ 6 ଇଞ୍ଚ 4 ° ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ P- ପ୍ରକାର 4H-SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବିଭିନ୍ନ ବ୍ୟାସାର୍ଦ୍ଧରେ ଉପଲବ୍ଧ, 2 ଇଞ୍ଚରୁ 6 ଇଞ୍ଚ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବିଭିନ୍ନ ଉତ୍ପାଦନ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ | ୟୁନିଫର୍ମ ଡୋପିଂ ସ୍ତର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଭୂପୃଷ୍ଠ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ଆମର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗୁଡିକ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ହୋଇଛି, ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ୱେଫର୍ ଉନ୍ନତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ କଠୋର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ପୂରଣ କରେ |
ନୂତନତ୍ୱ ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ପାଇଁ ସେମିସେରାର ପ୍ରତିବଦ୍ଧତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଆମର 2 ~ 6 ଇଞ୍ଚ 4 ° ଅଫ୍ ଆଙ୍ଗଲ୍ P- ପ୍ରକାର 4H-SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପାୱାର୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଠାରୁ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଡିଭାଇସ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରୟୋଗରେ ସ୍ଥିର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରେ | ଏହି ଉତ୍ପାଦ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପି generation ଼ିର ଶକ୍ତି-ଦକ୍ଷତା, ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ, ଅଟୋମୋବାଇଲ୍, ଟେଲିକମ୍ ଏବଂ ଅକ୍ଷୟ ଶକ୍ତି ପରି ଶିଳ୍ପ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ techn ଷୟିକ ପ୍ରଗତିକୁ ସମର୍ଥନ କରେ |
ଆକାର ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ମାନକ |
| ଆକାର | | In ଇଞ୍ଚ | 4inch |
| ବ୍ୟାସ | 50.8 mm ± 0.38 mm | 100.0 mm + 0 / -0.5 mm |
| ସର୍ଫେସ୍ ଓରେଣ୍ଟେସନ୍ | | 4 ° <11-20> ± 0.5 ° ଆଡକୁ | | 4 ° <11-20> ± 0.5 ° ଆଡକୁ | |
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 16.0 mm ± 1.5mm | 32.5 ମିମି ± 2 ମିମି | |
| ଦ୍ୱିତୀୟ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 8.0 ମିମି ± 1.5 ମିମି | | 18.0 mm ± 2 mm |
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | ସମାନ୍ତରାଳ <11-20> ± 5.0 ° | | ସମାନ୍ତରାଳ <11-20> ± 5.0c | |
| ସେକେଣ୍ଡାରୀ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | ପ୍ରାଥମିକ ± 5.0 ° ରୁ 90 ° CW, ସିଲିକନ୍ ମୁହଁ | | ପ୍ରାଥମିକ ± 5.0 ° ରୁ 90 ° CW, ସିଲିକନ୍ ମୁହଁ | |
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସମାପ୍ତ | ସି-ଚେହେରା: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପୋଲାଣ୍ଡ, ସି-ଫେସ୍: CMP | | ସି-ଫେସ୍: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପଲିସ୍, ସି-ଫେସ୍: CMP | |
| ୱାଫର୍ ଏଜ୍ | | ବେଭେଲିଂ | ବେଭେଲିଂ |
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି କଠିନତା | | ସି-ଫେସ୍ ରା <0.2 nm | ସି-ଫେସ୍ ରା <0.2nm |
| ମୋଟା | | 350.0 ± 25.0um | 350.0 ± 25.0um |
| ପଲିଟାଇପ୍ | | 4H | 4H |
| ଡୋପିଂ | p- ପ୍ରକାର | | p- ପ୍ରକାର | |
ଆକାର ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ମାନକ |
| ଆକାର | | 6inch |
| ବ୍ୟାସ | 150.0 mm + 0 / -0.2 mm |
| ସର୍ଫେସ୍ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | 4 ° <11-20> ± 0.5 ° ଆଡକୁ | |
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 47.5 mm ± 1.5mm |
| ଦ୍ୱିତୀୟ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | କିଛି ନୁହେଁ | |
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | <11-20> ± 5.0 ° ସହିତ ସମାନ୍ତରାଳ | |
| ସେକେଣ୍ଡାରୀ ଫ୍ଲାଟ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | ପ୍ରାଥମିକ ± 5.0 ° ରୁ 90 ° CW, ସିଲିକନ୍ ମୁହଁ | |
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସମାପ୍ତ | ସି-ଚେହେରା: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପୋଲାଣ୍ଡ, ସି-ଫେସ୍: CMP | |
| ୱାଫର୍ ଏଜ୍ | | ବେଭେଲିଂ |
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି କଠିନତା | | ସି-ଫେସ୍ ରା <0.2 nm |
| ମୋଟା | | 350.0 ± 25.0μm |
| ପଲିଟାଇପ୍ | | 4H |
| ଡୋପିଂ | p- ପ୍ରକାର | |
ରମଣ |
ରୋକ୍ ବକ୍ର
ସ୍ଥାନାନ୍ତରର ଘନତା (KOH etching)
KOH ଚିତ୍ରଗୁଡିକ
