ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା (ALD) ହେଉଛି ଏକ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଯାହା ଦୁଇ କିମ୍ବା ଅଧିକ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଅଣୁକୁ ବିକଳ୍ପ ଭାବରେ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ଦେଇ ସ୍ତର ଦ୍ thin ାରା ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତର ବ ows ାଏ | ଉଚ୍ଚ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ସମାନତାର ALD ର ସୁବିଧା ଅଛି, ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ, ଅପ୍ଟୋଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣ, ଶକ୍ତି ସଂରକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ | ALD ର ମ basic ଳିକ ନୀତିଗୁଡିକ ହେଉଛି ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଆଡସର୍ପସନ୍, ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉପ-ଉତ୍ପାଦ ଅପସାରଣ, ଏବଂ ଏକ ଚକ୍ରରେ ଏହି ପଦକ୍ଷେପଗୁଡିକର ପୁନରାବୃତ୍ତି ଦ୍ୱାରା ମଲ୍ଟି-ଲେୟାର୍ ସାମଗ୍ରୀ ଗଠନ କରାଯାଇପାରେ | ଉଚ୍ଚ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଯୋଗ୍ୟତା, ସମାନତା, ଏବଂ ଅଣ-ପୋରସ୍ ଗଠନର ALD ର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ସୁବିଧା ରହିଛି, ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀର ଜମା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |
ALD ର ନିମ୍ନଲିଖିତ ଗୁଣ ଏବଂ ସୁବିଧା ଅଛି:
ଉଚ୍ଚ ନିୟନ୍ତ୍ରଣତା:ଯେହେତୁ ALD ଏକ ସ୍ତର-ସ୍ତର ବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟା, ପ୍ରତ୍ୟେକ ପଦାର୍ଥର ଘନତା ଏବଂ ରଚନା ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୋଇପାରିବ |
ଏକତା:ALD ସମଗ୍ର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ସମାନ ଭାବରେ ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରିପାରିବ, ଅନ୍ୟ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ହେଉଥିବା ଅସମାନତାକୁ ଏଡାଇ |
3। ଅଣ-ଖଣ୍ଡିଆ ଗଠନ:ଯେହେତୁ ALD ଏକକ ପରମାଣୁ କିମ୍ବା ଏକକ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ଏକକରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି ସାଧାରଣତ a ଏକ ଘନ, ପୋରସ୍ ନଥିବା ଗଠନ ଥାଏ |
4 ଭଲ କଭରେଜ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା:ALD ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ ଦିଗ ଅନୁପାତ ସଂରଚନାକୁ ଆବୃତ କରିପାରିବ, ଯେପରିକି ନାନୋପୋର ଆରେ, ଉଚ୍ଚ ପୋରୋସିଟି ସାମଗ୍ରୀ ଇତ୍ୟାଦି |
ମାପନୀୟତା:ଧାତୁ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, କାଚ ଇତ୍ୟାଦି ସହିତ ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ALD ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ |
6। ବହୁମୁଖୀତା:ବିଭିନ୍ନ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ଅଣୁଗୁଡିକ ଚୟନ କରି, ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସାମଗ୍ରୀ ALD ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଜମା ହୋଇପାରିବ, ଯେପରିକି ଧାତୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍, ସଲଫାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଇତ୍ୟାଦି |
