ସେମିସେରାରୁ ନୀଳ / ସବୁଜ ଏଲଇଡି ଏପିଟାକ୍ସି ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ଏଲଇଡି ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ | ଉନ୍ନତ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସମର୍ଥନ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଥିବା ସେମିସେରାର ବ୍ଲୁ / ସବୁଜ ଏଲଇଡି ଏପିଟାକ୍ସି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ନୀଳ ଏବଂ ସବୁଜ ଏଲଇଡି ଉତ୍ପାଦନରେ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ବ ances ାଇଥାଏ, ବିଭିନ୍ନ ଅପ୍ଟୋଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସି ଏପିଟାକ୍ସି ଏବଂ ସିସି ଏପିଟାକ୍ସି ବ୍ୟବହାର କରି ଏହି ସମାଧାନ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣ ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |
ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, ଏବଂ RTP Carrier ଭଳି ଉପାଦାନ ସହିତ MOCVD ସସେପ୍ଟର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ, ଯାହା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପରିବେଶକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିଥାଏ | ସେମିସେରାର ବ୍ଲୁ / ସବୁଜ ଏଲଇଡି ଏପିଟାକ୍ସି ଏଲଇଡି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସସେପ୍ଟର, ବ୍ୟାରେଲ୍ ସସେପ୍ଟର ଏବଂ ମୋନୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ସିଲିକନ୍ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା କ୍ରମାଗତ, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଫଳାଫଳ ଉତ୍ପାଦନକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |
ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ପାର୍ଟସ୍ ସୃଷ୍ଟି ପାଇଁ ଏହି ଏପିଟାକ୍ସି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ ସିସି ଏପିଟାକ୍ସିରେ GaN ଭଳି ପ୍ରୟୋଗକୁ ସମର୍ଥନ କରେ, ସାମଗ୍ରିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ | ପାନକେକ୍ ସସେପ୍ଟର ବିନ୍ୟାସନରେ ହେଉ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟ ଉନ୍ନତ ସେଟଅପ୍ ଗୁଡିକରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉ, ସେମିସେରାର ବ୍ଲୁ / ସବୁଜ ଏଲଇଡି ଏପିଟାକ୍ସି ସମାଧାନଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ, ଯାହା ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କୁ ଉଚ୍ଚମାନର ଏଲଇଡି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ |
ମୁଖ୍ୟ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ:
ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ:
ଯେତେବେଳେ ତାପମାତ୍ରା 1600 C ରୁ ଅଧିକ ଥାଏ ସେତେବେଳେ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ବହୁତ ଭଲ |
ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା: ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କ୍ଲୋରିନେସନ୍ ଅବସ୍ଥାରେ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ |
3। କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ଉଚ୍ଚ କଠିନତା, କମ୍ପାକ୍ଟ ଭୂପୃଷ୍ଠ, ସୂକ୍ଷ୍ମ କଣିକା |
ଜର ପ୍ରତିରୋଧ: ଏସିଡ୍, କ୍ଷାର, ଲୁଣ ଏବଂ ଜ organic ବ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା |
ର ମୁଖ୍ୟ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା |CVD-SIC ଆବରଣ |
| SiC-CVD ଗୁଣ | | ||
| କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ଗଠନ | FCC β ପର୍ଯ୍ୟାୟ | | |
| ଘନତା | g / cm ³ | 3.21 |
| କଠିନତା | | ବିକର୍ସ କଠିନତା | | 2500 |
| ଶସ୍ୟ ଆକାର | | μm | 2 ~ 10 |
| ରାସାୟନିକ ଶୁଦ୍ଧତା | | % | 99.99995 |
| ଉତ୍ତାପ କ୍ଷମତା | | J · kg-1 · K-1 | | 640 |
| ସବଲିମେସନ୍ ତାପମାତ୍ରା | | ℃ | 2700 |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | | MPa (RT 4-point) | 415 |
| ୟଙ୍ଗ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | | Gpa (4pt bend, 1300 ℃) | 430 |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି | | (W / mK) | 300 |
