CVD SiC ଆବରଣ |

ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ପରିଚୟ | 

ଆମର ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ଆବରଣ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ସ୍ଥାୟୀ ଏବଂ ପରିଧାନ-ପ୍ରତିରୋଧକ ସ୍ତର, ଉଚ୍ଚ କ୍ଷୟ ଏବଂ ତାପଜ ପ୍ରତିରୋଧ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପରିବେଶ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ |ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ |ଉନ୍ନତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବ offering ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରି CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପତଳା ସ୍ତରରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ |

ମୁଖ୍ୟ ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ

       ● -ସଂଖ୍ୟାତ ଶୁଦ୍ଧତା |: ଏକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଶୁଦ୍ଧ ରଚନା ପାଇଁ ଗର୍ବ କରିବା |99.99995%, ଆମରSiC ଆବରଣ |ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କାର୍ଯ୍ୟରେ ପ୍ରଦୂଷଣ ବିପଦକୁ କମ୍ କରିଥାଏ |

Sup- ସର୍ବୋଚ୍ଚ ପ୍ରତିରୋଧ |: ଉଭୟ ପୋଷାକ ଏବଂ କ୍ଷୟ ପାଇଁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ, ଏହାକୁ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ସେଟିଂକୁ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ |
High- ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା |: ଏହାର ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ତାପଜ ଗୁଣ ଯୋଗୁଁ ଅତ୍ୟଧିକ ତାପମାତ୍ରାରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ |
●-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା |: ଏହାର ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ ଯୋଗୁଁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ତାପମାତ୍ରାରେ ଗଠନମୂଳକ ଅଖଣ୍ଡତା ବଜାୟ ରଖେ |
●-ଉନ୍ନତ କଠିନତା |: ଏକ କଠିନତା ମୂଲ୍ୟାୟନ ସହିତ |40 GPa, ଆମର SiC ଆବରଣ ମହତ୍ impact ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରଭାବ ଏବଂ ଘୃଣାକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରେ |
● -ସମସ୍ତ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ସମାପ୍ତ |: କଣିକା ଉତ୍ପାଦନ ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଏକ ଦର୍ପଣ ପରି ସମାପ୍ତି ପ୍ରଦାନ କରେ |

ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ

ସେମିସେରା | SiC ଆବରଣ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନର ବିଭିନ୍ନ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରି:

● -ଏଲଇଡି ଚିପ୍ ଫ୍ୟାବ୍ରିକେସନ୍ |
● -ପଲିସିଲିକନ୍ ଉତ୍ପାଦନ |
● -ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି |
● -ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ସିସି ଏପିଟାକ୍ସି |
● -ଥର୍ମାଲ୍ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଏବଂ ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ (TO&D)

ଆମେ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, କାର୍ବନ ଫାଇବର-ସଶକ୍ତ କାର୍ବନ ଏବଂ 4N ରିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇଜଡ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡରୁ ନିର୍ମିତ ସିସି-ଆବୃତ ଉପାଦାନଗୁଡିକ ଯୋଗାଇଥାଉ, ଫ୍ଲୁଇଡାଇଜଡ୍-ବେଡ୍ ରିଆକ୍ଟର ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତୁତ |STC-TCS କନଭର୍ଟର, CZ ୟୁନିଟ୍ ପ୍ରତିଫଳକ, SiC ୱେଫର୍ ଡଙ୍ଗା, SiCwafer ପ୍ୟାଡଲ୍, SiC ୱେଫର୍ ଟ୍ୟୁବ୍, ଏବଂ PECVD, ସିଲିକନ୍ ଏପିଟାକ୍ସି, MOCVD ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ୱେଫର୍ ବାହକ |.

ଉପକାରିତା

Ex- ବିସ୍ତାରିତ ଜୀବନକାଳ |: ଯନ୍ତ୍ରାଂଶଗୁଡ଼ିକର ଡାଉନଟାଇମ୍ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, ସାମଗ୍ରିକ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ବ .ାଇଥାଏ |
●-ଉନ୍ନତ ଗୁଣବତ୍ତା |: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ପୃଷ୍ଠଗୁଡିକ ହାସଲ କରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ବ .ିଥାଏ |
●-ବର୍ଦ୍ଧିତ ଦକ୍ଷତା |: ତାପଜ ଏବଂ CVD ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ କ୍ଷୁଦ୍ର ଚକ୍ର ସମୟ ଏବଂ ଅଧିକ ଅମଳ ହୁଏ |

ଯାନ୍ତ୍ରିକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ |     

ସଂରଚନା: FCC β ପର୍ଯ୍ୟାୟ ପଲିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍, ମୁଖ୍ୟତ ((111) ଆଧାରିତ |
ଘନତା: 3.21 g / cm³
Ard- ହାର୍ଦ୍ଦିକ |: 2500 ଭିକ୍ସ କଠିନତା (500g ଭାର)
ଫ୍ରାକଚର କଠିନତା |: 3.0 MPa · m^{1/2 / ।।}
●-ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ (100-600 ° C): 4.3 x 10^-6k^-1
● -ଲେଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ (1300 ℃):435 GPa
● -ପ୍ରତିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ମୋଟା |:100 µm
● -ସଫେସ୍ ରୁଫ୍ |:2-10 µm

ଶୁଦ୍ଧତା ତଥ୍ୟ (ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ମାସ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରସ୍କୋପି ଦ୍ୱାରା ମାପ କରାଯାଏ)