କଠିନ CVD ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଅଂଶଗୁଡିକ RTP / EPI ରିଙ୍ଗ ଏବଂ ବେସ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାଜ୍ ଆଚ୍ କ୍ୟାଭିଟି ପାର୍ଟସ୍ ପାଇଁ ପ୍ରାଥମିକ ପସନ୍ଦ ଭାବରେ ସ୍ୱୀକୃତିପ୍ରାପ୍ତ ଯାହା ଉଚ୍ଚ ସିଷ୍ଟମରେ ଆବଶ୍ୟକ ଅପରେଟିଂ ତାପମାତ୍ରା (> 1500 ℃) ରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ଶୁଦ୍ଧତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଅଧିକ (> 99.9995%) ଏବଂ | ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥର ପ୍ରତିରୋଧ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଅଧିକ ହେଲେ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବିଶେଷ ଭଲ | ଏହି ସାମଗ୍ରୀଗୁଡିକ ଶସ୍ୟ ଧାରରେ ଦ୍ secondary ିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଧାରଣ କରେ ନାହିଁ, ତେଣୁ ସେମାନଙ୍କର ଉପାଦାନଗୁଡିକ ଅନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଅପେକ୍ଷା କମ୍ କଣିକା ଉତ୍ପାଦନ କରେ | ଏହା ସହିତ, ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡିକ ଗରମ HF / HCl ବ୍ୟବହାର କରି ଅଳ୍ପ ଅବନତି ସହିତ ସଫା ହୋଇପାରିବ, ଫଳସ୍ୱରୂପ କମ୍ କଣିକା ଏବଂ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ |
