ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଏହା ସହିତ, ସେମିସେରାର TaC ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକର ସେବା ଜୀବନ SiC ଆବରଣ ଅପେକ୍ଷା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାକୁ ଅଧିକ ଲମ୍ବା ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧୀ | ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପ ତଥ୍ୟର ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପରେ, ଆମର TaC ସର୍ବାଧିକ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସରେ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କାମ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର କିଛି ନମୁନା ଅଛି:
(କ) PVT ପଦ୍ଧତି ଦ୍ Si ାରା SiC ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଇନଗଟ୍ ବ growing ୁଥିବା ଉପକରଣର ସ୍କିଜେଟିକ୍ ଚିତ୍ର (ଖ) ଟପ୍ TaC ଆବୃତ ବିହନ ବ୍ରାକେଟ୍ (SiC ବିହନ ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ କରି) (ଗ) TAC- ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଗାଇଡ୍ ରିଙ୍ଗ |
