ସେମିକେରା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଉତ୍ପାଦ ଯାହା PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱେଫର୍ ସମର୍ଥନ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି | ସେମିକେରା ଉନ୍ନତ ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବ୍ୟବହାର କରେ ଯେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉତ୍ତମ ତାପଜ ଚାଳନା ଅଛି, ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଉପଯୋଗୀ |
SEMICERA isostatic PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗାର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି:
▪ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା: ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ନିମ୍ନ ଅପରିଷ୍କାର ବିଷୟବସ୍ତୁ ଅଟେ |
Density ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା: ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରିବ |
▪ ଭଲ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା: ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଛୋଟ ଆକାରର ପରିବର୍ତ୍ତନ |
▪ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ଚାଳନା: ୱେଫର୍ ଅତ୍ୟଧିକ ଗରମକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉତ୍ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରନ୍ତୁ |
▪ ଶକ୍ତିଶାଳୀ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ଦ୍ୱାରା କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ |
କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟର | | ସେମିସେରା | | SGL R6510 | କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟର | |
ବଲ୍କ ଘନତା (g / cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
ବଙ୍କା ଶକ୍ତି (MPa) | 63 | 60 | 49 |
ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି (MPa) | 135 | 130 | 103 |
ଶୋର କଠିନତା (HS) | 70 | 64 | 60 |
ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାରର ଗୁଣବତ୍ତା (10-6 / K) | 85 | 105 | 130 |
ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାରର ଗୁଣବତ୍ତା (10-6 / K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
ପ୍ରତିରୋଧକତା (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ଆମକୁ ବାଛିବାର ଲାଭ:
▪ ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ: ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
▪ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା: ଉତ୍ପାଦର ଘନତା ଏବଂ ସମାନତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
▪ ସାଇଜ୍ କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍: ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ବିଭିନ୍ନ ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତିର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା କଷ୍ଟୋମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |
▪ ଭୂପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା: ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ଭୂପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ପଦ୍ଧତି ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଉଛି ଯେପରିକି ଆବରଣ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, ବୋରନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଇତ୍ୟାଦି |