CVD SiC କ’ଣ?
ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ହେଉଛି ଏକ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧ କଠିନ ପଦାର୍ଥ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରାୟତ the ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | CVD ଦ୍ Si ାରା SiC ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ବା ଏକାଧିକ ଅସ୍ଥିର ପୂର୍ବପୁରୁଷଙ୍କ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିଥାଏ, ଯାହା ଇଚ୍ଛିତ SiC ଜମା ଜମା କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିଥାଏ | SiC ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ପଦ୍ଧତି ମଧ୍ୟରେ, ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ ଦ୍ରବ୍ୟର ଉଚ୍ଚ ସମାନତା ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତା ଅଛି, ଏବଂ ଏହି ପଦ୍ଧତିର ଦୃ strong ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣତା ଅଛି |
ସେମି କଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ CVD SiC ସାମଗ୍ରୀ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉପଯୁକ୍ତ ଯାହା ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ, ବ electrical ଦୁତିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଗୁଣର ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ମିଶ୍ରଣ ହେତୁ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷମତା ସମ୍ପନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀ ଆବଶ୍ୟକ କରେ | CVD SiC ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଇଚିଂ ଉପକରଣ, MOCVD ଉପକରଣ, Si epitaxial ଉପକରଣ ଏବଂ SiC epitaxial ଉପକରଣ, ଦ୍ରୁତ ତାପଜ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ମୋଟ ଉପରେ, CVD SiC ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ସର୍ବ ବୃହତ ବଜାର ବିଭାଗ ହେଉଛି ଯନ୍ତ୍ରାଂଶ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ | କ୍ଲୋରାଇନ୍- ଏବଂ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଧାରଣକାରୀ ଇଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ଏହାର କମ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳତା ଏବଂ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଯୋଗୁଁ, ସିଭିଡି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଏକ ଆଦର୍ଶ ପଦାର୍ଥ ଯେପରିକି ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ଉପକରଣରେ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍ |
ଇଚିଂ ଉପକରଣରେ CVD ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍, ଗ୍ୟାସ୍ ସାୱାର ହେଡ୍, ଟ୍ରେ, ଏଜ୍ ରିଙ୍ଗ୍ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ | ରିଙ୍ଗ ଦେଇ ଯାଉଥିବା ପ୍ଲାଜମାକୁ ଧ୍ୟାନ ଦେବା ପାଇଁ ରିଙ୍ଗରେ ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରୟୋଗ କରି ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣର ସମାନତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ଲାଜମା ୱେଫର୍ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଆଯାଏ |
ପାରମ୍ପାରିକ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗଗୁଡିକ ସିଲିକନ୍ କିମ୍ବା କ୍ୱାର୍ଟଜରେ ନିର୍ମିତ | ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ମିନିଟ୍ରାଇଜେସନ୍ ର ଅଗ୍ରଗତି ସହିତ, ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଚାହିଦା ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱ ବ increasing ୁଛି, ଏବଂ ପ୍ଲାଜ୍ ର ଶକ୍ତି ଏବଂ ଶକ୍ତି ବ continue ିବାରେ ଲାଗିଛି | ବିଶେଷ ଭାବରେ, କ୍ୟାପିସିଟିଭ୍ ଯୋଡି ହୋଇଥିବା (CCP) ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ଉପକରଣରେ ଆବଶ୍ୟକ ହେଉଥିବା ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ଅଧିକ, ତେଣୁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ନିର୍ମିତ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗର ବ୍ୟବହାର ହାର ବୃଦ୍ଧି ପାଉଛି | CVD ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗର ସ୍କିମେଟିକ୍ ଚିତ୍ର ନିମ୍ନରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି:
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍ -20-2024 |