ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ଏବଂ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗର ସୁବିଧା ଏବଂ ଅସୁବିଧା ବିଷୟରେ ବିସ୍ତୃତ ବ୍ୟାଖ୍ୟା |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ, ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କିମ୍ବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଗଠିତ ଏକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ “ଇଚିଂ” ନାମକ ଏକ କ que ଶଳ ଅଛି | 1965 ମସିହାରେ ଇଣ୍ଟେଲର ପ୍ରତିଷ୍ଠାତା ଗର୍ଡନ୍ ମୋର୍ଙ୍କ ଦ୍ୱାରା କରାଯାଇଥିବା ଭବିଷ୍ୟବାଣୀକୁ ହୃଦୟଙ୍ଗମ କରିବାରେ ଇଚିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ଏକ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଛି ଯେ “ଟ୍ରାନଜିଷ୍ଟରର ଏକୀକରଣ ଘନତା 1.5 ରୁ 2 ବର୍ଷ ମଧ୍ୟରେ ଦ୍ୱିଗୁଣିତ ହେବ” (ସାଧାରଣତ ““ ମୋର୍ ଆଇନ୍ ”ଭାବରେ ଜଣାଶୁଣା) |

ଇଚିଂ ଡିପୋଜିସନ କିମ୍ବା ବଣ୍ଡିଂ ପରି ଏକ “ଯୋଗୀ” ପ୍ରକ୍ରିୟା ନୁହେଁ, କିନ୍ତୁ ଏକ “ବିସ୍ତୃତ” ପ୍ରକ୍ରିୟା | ଏହା ସହିତ, ବିଭିନ୍ନ ସ୍କ୍ରାପିଂ ପଦ୍ଧତି ଅନୁଯାୟୀ, ଏହାକୁ ଦୁଇଟି ଶ୍ରେଣୀରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି, ଯଥା “ଓଦା ଇଚିଂ” ଏବଂ “ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ” | ସରଳ ଭାବରେ କହିବାକୁ ଗଲେ, ପୂର୍ବଟି ଏକ ତରଳିବା ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ଶେଷଟି ହେଉଛି ଏକ ଖୋଳିବା ପଦ୍ଧତି |

ଏହି ଆର୍ଟିକିଲରେ, ଆମେ ସଂକ୍ଷେପରେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଇଚିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ପାର୍ଥକ୍ୟ, ଓଦା ଇଚିଂ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ, ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର ଯାହା ପାଇଁ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଉପଯୁକ୍ତ ତାହା ବର୍ଣ୍ଣନା କରିବୁ |

ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସମୀକ୍ଷା

ଇଚିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି 15 ଶତାବ୍ଦୀର ମଧ୍ୟଭାଗରେ ୟୁରୋପରେ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୋଇଥିବା କୁହାଯାଏ | ସେହି ସମୟରେ, ଖାଲି ତମ୍ବାକୁ କ୍ଷୟ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଖୋଦିତ ତମ୍ବା ପ୍ଲେଟରେ ଏସିଡ୍ poured ାଳି ଏକ ଇଣ୍ଟାଗଲିଓ ଗଠନ କରାଯାଇଥିଲା | ଭୂପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା କ ques ଶଳ ଯାହା କ୍ଷୟର ପ୍ରଭାବକୁ ଶୋଷଣ କରେ, ତାହା “ଇଚିଂ” ଭାବରେ ଜଣାଶୁଣା |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ଚିତ୍ର ଅନୁଯାୟୀ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କିମ୍ବା ଫିଲ୍ମ କାଟିବା | ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ, ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ଏବଂ ଇଚିଂର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପଦକ୍ଷେପଗୁଡିକର ପୁନରାବୃତ୍ତି କରି, ପ୍ଲାନାର୍ structure ାଞ୍ଚାକୁ ଏକ ତିନି-ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ structure ାଞ୍ଚାରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଏ |

ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ |

ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରେ, ଆବିଷ୍କୃତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଓଦା କିମ୍ବା ଶୁଖିଲା |

ଓଦା ଇଚିଂ ଭୂପୃଷ୍ଠକୁ ଦୂରେଇବା ଏବଂ ସ୍କ୍ରାପ୍ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସମାଧାନ ବ୍ୟବହାର କରେ | ଯଦିଓ ଏହି ପଦ୍ଧତି ଶୀଘ୍ର ଏବଂ ଶସ୍ତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଇପାରେ, ଏହାର ଅସୁବିଧା ହେଉଛି ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣର ସଠିକତା ସାମାନ୍ୟ କମ୍ ଅଟେ | ଅତଏବ, ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ ପ୍ରାୟ 1970 ମସିହାରେ ଜନ୍ମ ହୋଇଥିଲା।

“ଆଇସୋଟ୍ରପି” ଏବଂ “ଆନିସୋଟ୍ରପି”

ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଉପସ୍ଥାପନ କରିବାବେଳେ, ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ଶବ୍ଦଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି “ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍” ଏବଂ “ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍” | ଆଇସୋଟ୍ରପି ଅର୍ଥ ହେଉଛି ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ସ୍ଥାନର ଭ physical ତିକ ଗୁଣ ଦିଗ ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ ନାହିଁ, ଏବଂ ଆନିସୋଟ୍ରପି ଅର୍ଥ ହେଉଛି ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ସ୍ଥାନର ଭ physical ତିକ ଗୁଣ ଦିଗ ସହିତ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ |

ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଇଚିଂ ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବିନ୍ଦୁରେ ସମାନ ପରିମାଣରେ ଇଚିଂ ହୁଏ, ଏବଂ ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଇଚିଂ ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବିନ୍ଦୁରେ ବିଭିନ୍ନ ଦିଗରେ ଇଚିଂ ଚାଲିଥାଏ | ଉଦାହରଣ ସ୍ .ରୁପ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ସମୟରେ ଇଚିଂରେ, ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ ପ୍ରାୟତ chosen ବାଛିଥାଏ ଯାହା ଦ୍ only ାରା କେବଳ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଦିଗ ସ୍କ୍ରାପ୍ ହୋଇଯାଏ, ଅନ୍ୟ ଦିଗଗୁଡିକ ଅକ୍ଷୁର୍ଣ୍ଣ ରହିଥାଏ |

“ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଇଚ୍” ଏବଂ “ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଇଚ୍” ର ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକ |

ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ବ୍ୟବହାର କରି ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ |

ଓଦା ଏଚିଂ ଏକ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରେ | ଏହି ପଦ୍ଧତି ସହିତ, ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ ଅସମ୍ଭବ ନୁହେଁ, କିନ୍ତୁ ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ ଅପେକ୍ଷା ଏହା ଅଧିକ କଷ୍ଟସାଧ୍ୟ | ସମାଧାନ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀର ମିଶ୍ରଣ ଉପରେ ଅନେକ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଅଛି, ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା, ସମାଧାନର ଏକାଗ୍ରତା, ଏବଂ ଯୋଗ ପରିମାଣ ପରି ସର୍ତ୍ତଗୁଡିକ ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |

ଅବସ୍ଥା ଯେତେ ସୁନ୍ଦର ଭାବରେ ସଜାଡାଯାଏ ନା କାହିଁକି, ଓଦା ଇଚିଂ 1 μm ତଳେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରିବା କଷ୍ଟକର | ଏହାର ଗୋଟିଏ କାରଣ ହେଉଛି ପାର୍ଶ୍ୱ ଇଚିଂକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାର ଆବଶ୍ୟକତା |

ଅଣ୍ଡର୍କିଂ କରିବା ଏକ ଘଟଣା ଯାହା ଅଣ୍ଡର୍କଟିଂ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ | ଯଦିଓ ଏହା ଆଶା କରାଯାଏ ଯେ ସାମଗ୍ରୀ କେବଳ ଭୂଲମ୍ବ ଦିଗ (ଗଭୀର ଦିଗ) ରେ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ଦ୍ olved ାରା ଦ୍ରବୀଭୂତ ହେବ, ଏହାର ସମାଧାନକୁ ପାର୍ଶ୍ୱକୁ ଧକ୍କା ଦେବା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଅସମ୍ଭବ, ତେଣୁ ସମାନ୍ତରାଳ ଦିଗରେ ପଦାର୍ଥର ବିଲୋପ ଅବଶ୍ୟ ଅଗ୍ରଗତି କରିବ | । ଏହି ଘଟଣା ହେତୁ, ଓଦା ଇଚିଂ ଅନିୟମିତ ଭାବରେ ବିଭାଗଗୁଡିକ ଉତ୍ପାଦନ କରେ ଯାହା ଲକ୍ଷ୍ୟ ପ୍ରସ୍ଥଠାରୁ ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ | ଏହି ଉପାୟରେ, ଯେତେବେଳେ ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରେ ଯାହା ସଠିକ୍ ସାମ୍ପ୍ରତିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି କମ୍ ଏବଂ ସଠିକତା ଅବିଶ୍ୱସନୀୟ |

ଓଦା ଏଚିଂରେ ସମ୍ଭାବ୍ୟ ବିଫଳତାର ଉଦାହରଣ |

ମାଇକ୍ରୋମାଚାଇନିଂ ପାଇଁ କାହିଁକି ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ଉପଯୁକ୍ତ |

ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଇଚିଂ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ଶୁଖିଲା ଏଚିଂର ବର୍ଣ୍ଣନା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯାହା ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ | ଶୁଖିଲା ଏଚିଂକୁ ପ୍ରାୟତ re ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଆୟନ ଏଚିଂ (RIE) ଭାବରେ କୁହାଯାଏ, ଯାହାକି ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ଏବଂ ବ୍ୟାପକ ଅର୍ଥରେ ସ୍ପଟର୍ ଏଚିଂ ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରିପାରେ, କିନ୍ତୁ ଏହି ଲେଖା RIE ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବ |

ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ସହିତ ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ କାହିଁକି ସହଜ ତାହା ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିବାକୁ, ଆସନ୍ତୁ RIE ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦେବା | ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍କୁ ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରି ବୁ chemical ିବା ସହଜ: “ରାସାୟନିକ ଇଚିଂ” ଏବଂ “ଶାରୀରିକ ଇଚିଂ” |

ରାସାୟନିକ ଏଚିଂ ତିନୋଟି ସୋପାନରେ ହୁଏ | ପ୍ରଥମେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଆଡର୍ସଡ୍ | ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ତାପରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପଦାର୍ଥରୁ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଶେଷରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦଗୁଡିକ ଅବକ୍ଷୟ ହୋଇଯାଏ | ପରବର୍ତ୍ତୀ ଶାରୀରିକ ଇଚିଂରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରୟୋଗ କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ତଳକୁ ଯାଇଥାଏ |

ରାସାୟନିକ ଇଚିଂ ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଭାବରେ ଘଟିଥାଏ, ଯେଉଁଠାରେ ଶାରୀରିକ ଇଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରୟୋଗର ଦିଗକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ହୋଇପାରେ | ଏହି ଶାରୀରିକ ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ହେତୁ, ଶୁଖିଲା ଏଚିଂ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ଅପେକ୍ଷା ଇଚିଂ ଦିଗ ଉପରେ ଅଧିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ |

ଶୁଖିଲା ଏବଂ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ମଧ୍ୟ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ପରି ସମାନ କଠୋର ଅବସ୍ଥା ଆବଶ୍ୟକ କରେ, କିନ୍ତୁ ଏହାର ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ପୁନ oduc ପ୍ରବୃତ୍ତି ଅଛି ଏବଂ ଅନେକ ସହଜ-ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆଇଟମ୍ ଅଛି | ତେଣୁ, ଏଥିରେ କ doubt ଣସି ସନ୍ଦେହ ନାହିଁ ଯେ ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚ ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଅଧିକ ଅନୁକୂଳ ଅଟେ |

କାହିଁକି ଓଦା ଏଚିଂ ଆବଶ୍ୟକ |

ଥରେ ତୁମେ ବୋଧହୁଏ ସର୍ବଶକ୍ତିମାନ ଶୁଖିଲା ଇଚିଂ ବୁ understand ିଗଲେ, ତୁମେ ଆଶ୍ଚର୍ଯ୍ୟ ହୋଇପାରେ କାହିଁକି ଓଦା ଇଚିଂ ବିଦ୍ୟମାନ ଅଛି | ତଥାପି, ଏହାର କାରଣଟି ସରଳ: ଓଦା ଇଚିଂ ଉତ୍ପାଦକୁ ଶସ୍ତା କରିଥାଏ |

ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଂ ଏବଂ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ମଧ୍ୟରେ ମୁଖ୍ୟ ପାର୍ଥକ୍ୟ ହେଉଛି ମୂଲ୍ୟ | ଓଦା ଇଚିଂରେ ବ୍ୟବହୃତ ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ସେତେ ମହଙ୍ଗା ନୁହେଁ ଏବଂ ଉପକରଣର ମୂଲ୍ୟ ନିଜେ ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍ ଉପକରଣର 1/10 ବୋଲି କୁହାଯାଏ | ଏହା ସହିତ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟ ସ୍ୱଳ୍ପ ଏବଂ ଏକାଧିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକାସାଙ୍ଗରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରାଯାଇପାରିବ, ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ ହେବ | ଫଳସ୍ୱରୂପ, ଆମେ ଆମର ପ୍ରତିଯୋଗୀମାନଙ୍କ ତୁଳନାରେ ଏକ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରି ଉତ୍ପାଦ ମୂଲ୍ୟକୁ କମ୍ ରଖିପାରିବା | ଯଦି ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଅଧିକ ନଥାଏ, ତେବେ ଅନେକ କମ୍ପାନୀ କଠିନ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଓଦା ଇଚିଂ ବାଛିବେ |

ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାବରେ ପରିଚିତ ହୋଇଥିଲା ଯାହା ମାଇକ୍ରୋ ଫ୍ୟାବ୍ରିକେସନ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିରେ ଏକ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ | ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରାୟ ଓଦା ଇଞ୍ଚିଂ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ଇଚିଂରେ ବିଭକ୍ତ | ଯଦି ମୂଲ୍ୟ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ପୂର୍ବଟି ଭଲ, ଏବଂ ଯଦି 1 μm ତଳେ ମାଇକ୍ରୋପ୍ରୋସେସିଂ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ, ତେବେ ଶେଷଟି ଭଲ | ଆଦର୍ଶରେ, ଉତ୍ପାଦିତ ହେବାକୁ ଥିବା ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚୟନ କରାଯାଇପାରିବ, କେଉଁଟି ଭଲ ତାହା ଅପେକ୍ଷା |