ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଉପକରଣ ଉପରେ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ଏବଂ ଅନୁବାଦିତ ବିଷୟବସ୍ତୁ |

ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (ସିସି) ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗୁଡିକରେ ଅନେକ ତ୍ରୁଟି ଅଛି ଯାହା ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ରୋକିଥାଏ | ଚିପ୍ ୱାଫର୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ, ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଏକକ-ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏକ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ SiC ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବ grown ଼ିବା ଆବଶ୍ୟକ | ଏହି ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ଭାବରେ ଜଣାଶୁଣା | ପ୍ରାୟ ସମସ୍ତ SiC ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ହୃଦୟଙ୍ଗମ ହୁଏ ଏବଂ ଉଚ୍ଚମାନର ହୋମୋପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ SiC ସାମଗ୍ରୀ SiC ଉପକରଣ ବିକାଶ ପାଇଁ ମୂଳଦୁଆ ସୃଷ୍ଟି କରେ | ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସାମଗ୍ରୀର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସିସି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସିଧାସଳଖ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ |

ଉଚ୍ଚ-ସାମ୍ପ୍ରତିକ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ SiC ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଭୂପୃଷ୍ଠ ମର୍ଫୋଲୋଜି, ତ୍ରୁଟିର ଘନତା, ଡୋପିଂ ସମାନତା ଏବଂ ଘନତା ସମାନତା ଉପରେ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ଲଗାଏ |epitaxialସାମଗ୍ରୀ ବଡ଼ ଆକାରର, ନିମ୍ନ-ତ୍ରୁଟିର ଘନତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସମାନତା SiC ଏପିଟାକ୍ସି ହାସଲ କରିବା SiC ଶିଳ୍ପର ବିକାଶ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହୋଇପାରିଛି |

ଉଚ୍ଚମାନର SiC epitaxy ଉତ୍ପାଦନ ଉନ୍ନତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ | ସମ୍ପ୍ରତି, SiC epitaxial ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ପଦ୍ଧତି ହେଉଛି |ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) |ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା ଏବଂ ଡୋପିଂ ଏକାଗ୍ରତା, ନିମ୍ନ ତ୍ରୁଟିର ଘନତା, ମଧ୍ୟମ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ଏବଂ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଉପରେ CVD ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଏହାକୁ ସଫଳ ବ୍ୟବସାୟିକ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଭାବରେ ପରିଣତ କରେ |

SiC CVD epitaxy |ସାଧାରଣତ hot ହଟ-କାନ୍ଥ କିମ୍ବା ଉଷ୍ମ-କାନ୍ଥ CVD ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିଥାଏ | ଉଚ୍ଚ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ତାପମାତ୍ରା (1500–1700 ° C) 4H-SiC ସ୍ଫଟିକ୍ ଫର୍ମର ଅବିରତତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରେ | ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ଦିଗ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ସମ୍ପର୍କ ଉପରେ ଆଧାର କରି, ଏହି CVD ସିଷ୍ଟମର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରଗୁଡିକ ଭୂସମାନ୍ତର ଏବଂ ଭୂଲମ୍ବ ସଂରଚନାରେ ଶ୍ରେଣୀଭୁକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ |

ସିସି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସର ଗୁଣବତ୍ତା ମୁଖ୍ୟତ three ତିନୋଟି ଦିଗ ଉପରେ ବିଚାର କରାଯାଇଥାଏ: ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଦର୍ଶନ (ମୋଟା ସମାନତା, ଡୋପିଂ ସମାନତା, ତ୍ରୁଟି ହାର, ଏବଂ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ କରି), ଉପକରଣର ତାପମାତ୍ରା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା (ଉତ୍ତାପ / କୁଲିଂ ହାର, ସର୍ବାଧିକ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ସମାନତା ସହିତ) | ), ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ-ପ୍ରଭାବଶାଳୀତା (ୟୁନିଟ୍ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା ଅନ୍ତର୍ଭୂକ୍ତ କରି) |

ତିନି ପ୍ରକାରର SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ |

1. ହଟ୍-ୱାଲ୍ ଭୂସମାନ୍ତର CVD ସିଷ୍ଟମ୍ |:

-ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ:ସାଧାରଣତ single ଏକକ-ୱେଫର୍ ବୃହତ ଆକାରର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଣାଳୀ ଗ୍ୟାସ ଫ୍ଲୋଟେସନ୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଦ୍ୱାରା ଚାଳିତ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ମେଟ୍ରିକ୍ ହାସଲ କରେ |

- ପ୍ରତିନିଧୀ ମଡେଲ୍ |:LPE ର Pe1O6, ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ୱେଫର୍ ଲୋଡିଂ / 900 ° C ରେ ଅନଲୋଡିଂ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ | ଉଚ୍ଚ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର, କ୍ଷୁଦ୍ର ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଚକ୍ର ଏବଂ ସ୍ଥିର ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ଏବଂ ଆନ୍ତ - ରନ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା |

-ପ୍ରଦର୍ଶନ:ମୋଟା ≤30μm ସହିତ 4-6 ଇଞ୍ଚ 4H-SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱାଫର୍ ପାଇଁ, ଏହା ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ଘନତା ଅଣ-ସମାନତା ≤2%, ଡୋପିଂ ଏକାଗ୍ରତା ଅଣ-ସମାନତା ≤5%, ଭୂପୃଷ୍ଠ ଦୋଷର ଘନତା ≤1 ସେମି-and, ଏବଂ ତ୍ରୁଟିମୁକ୍ତ | ଭୂପୃଷ୍ଠ କ୍ଷେତ୍ର (2 ମିମି × 2 ମିମି କୋଷ) ≥90% |

-ଘରୋଇ ଉତ୍ପାଦକ |: ଜିଙ୍ଗସେଙ୍ଗ ମେକାଟ୍ରୋନିକ୍ସ, CETC 48, ଉତ୍ତର ହୁଆଚୁଆଙ୍ଗ, ଏବଂ ନାସେଟ ଇଣ୍ଟେଲିଜେଣ୍ଟ ପରି କମ୍ପାନୀଗୁଡିକ ମାପଚୁପ ଉତ୍ପାଦନ ସହିତ ସମାନ ସିଙ୍ଗଲ୍ ୱେଫର୍ ସିସି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଉପକରଣ ବିକଶିତ କରିଛନ୍ତି |

2. ଉଷ୍ମ-କାନ୍ଥ ପ୍ଲାନେଟାରୀ CVD ସିଷ୍ଟମ୍ |:

-ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ:ବ୍ୟାଚ୍ ପ୍ରତି ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଗ୍ରହ ଗ୍ରହ ବ୍ୟବସ୍ଥା ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ, ଆଉଟପୁଟ୍ ଦକ୍ଷତାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ କରନ୍ତୁ |

-ପ୍ରତିନିଧୀ ମଡେଲଗୁଡିକ |:ଆକ୍ସଟ୍ରନ୍ ର AIXG5WWC (8x150mm) ଏବଂ G10-SiC (9x150mm କିମ୍ବା 6x200mm) ସିରିଜ୍ |

-ପ୍ରଦର୍ଶନ:ମୋଟା ≤10μm ସହିତ 6-ଇଞ୍ଚ 4H-SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱାଫର୍ ପାଇଁ ଏହା ଆନ୍ତ-ୱେଫର୍ ମୋଟା ବିଘ୍ନ ± 2.5%, ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ମୋଟା ଅଣ ସମାନତା 2%, ଆନ୍ତ - ୱେଫର୍ ଡୋପିଂ ଏକାଗ୍ରତା ± 5% ଏବଂ ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ଡୋପିଂ ହାସଲ କରେ | ଏକାଗ୍ରତା ଅଣ ସମାନତା <2% |

-ଆହ୍ୱାନ |:ବ୍ୟାଚ୍ ଉତ୍ପାଦନ ତଥ୍ୟର ଅଭାବ, ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ପ୍ରବାହ କ୍ଷେତ୍ର ନିୟନ୍ତ୍ରଣରେ ବ technical ଷୟିକ ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ଏବଂ ବଡ଼ ଆକାରର କାର୍ଯ୍ୟାନ୍ୱୟନ ବିନା R&D ଘରୋଇ ବଜାରରେ ସୀମିତ ଗ୍ରହଣ |

3. କ୍ୱାସୀ-ହଟ-କାନ୍ଥ ଭର୍ଟିକାଲ୍ CVD ସିଷ୍ଟମ୍ |:

- ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ:ତ୍ରୁଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣରେ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ସୁବିଧା ସହିତ ଉଚ୍ଚ-ଗତିର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ, ସୀମା ସ୍ତରର ଘନତା ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାରରେ ଉନ୍ନତି ପାଇଁ ବାହ୍ୟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସହାୟତା ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ |

- ପ୍ରତିନିଧୀ ମଡେଲଗୁଡିକ |:Nuflare ର ଏକକ-ୱେଫର୍ EPIREVOS6 ଏବଂ EPIREVOS8 |

-ପ୍ରଦର୍ଶନ:50μm / h ରୁ ବୃଦ୍ଧି ହାର, 0.1 ସେମି- below ତଳେ ଭୂପୃଷ୍ଠ ତ୍ରୁଟିର ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଇଣ୍ଟ୍ରା-ୱେଫର୍ ଘନତା ଏବଂ ଡୋପିଂ ଏକାଗ୍ରତା ଯଥାକ୍ରମେ 1% ଏବଂ 2.6% ହାସଲ କରେ |

-ଘରୋଇ ବିକାଶ:ଜିଙ୍ଗସାଣ୍ଡାଇ ଏବଂ ଜିଙ୍ଗସେଙ୍ଗ ମେକାଟ୍ରୋନିକ୍ସ ପରି କମ୍ପାନୀଗୁଡିକ ସମାନ ଉପକରଣର ପରିକଳ୍ପନା କରିଛନ୍ତି କିନ୍ତୁ ବଡ଼ ଆକାରର ବ୍ୟବହାର ହାସଲ କରିନାହାଁନ୍ତି |

ସାରାଂଶ

ତିନୋଟି ଗଠନମୂଳକ ପ୍ରକାରର SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଉପକରଣର ପ୍ରତ୍ୟେକର ଭିନ୍ନ ଗୁଣ ରହିଛି ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାର କରି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବଜାର ବିଭାଗଗୁଡିକ ଦଖଲ କରେ | ହଟ୍-ୱାଲ୍ ଭୂସମାନ୍ତର CVD ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଦ୍ରୁତ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ଏବଂ ସନ୍ତୁଳିତ ଗୁଣ ଏବଂ ସମାନତା ପ୍ରଦାନ କରେ କିନ୍ତୁ ଏକକ-ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହେତୁ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା କମ୍ | ଉଷ୍ମ-କାନ୍ଥ ଗ୍ରହ CVD ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ କିନ୍ତୁ ମଲ୍ଟି-ୱେଫର୍ ସ୍ଥିରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣରେ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ | କ୍ୱାସି-ହଟ୍-ୱାଲ୍ ଭର୍ଟିକାଲ୍ CVD ଜଟିଳ ସଂରଚନା ସହିତ ତ୍ରୁଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଏବଂ ବ୍ୟାପକ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅଭିଜ୍ଞତା ଆବଶ୍ୟକ କରେ |

ଯେହେତୁ ଶିଳ୍ପ ବିକାଶ ହେଉଛି, ଏହି ଯନ୍ତ୍ରପାତି ସଂରଚନାରେ ପୁନରାବୃତ୍ତି ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଏବଂ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ଅଧିକରୁ ଅଧିକ ବିଶୋଧିତ ବିନ୍ୟାସକୁ ଆଗେଇ ନେବ, ଘନତା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ପୂରଣ କରିବାରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିବ |

ବିଭିନ୍ନ SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଫର୍ଣ୍ଣେସର ସୁବିଧା ଏବଂ ଅସୁବିଧା |

କ୍ରମାଗତ ଶିଳ୍ପ ବିକାଶ ସହିତ, ଏହି ତିନୋଟି ପ୍ରକାରର ଯନ୍ତ୍ରପାତିଗୁଡିକ ପୁନର୍ବାର ଗଠନମୂଳକ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଏବଂ ଅପଗ୍ରେଡ୍ ଅତିକ୍ରମ କରିବେ, ଯାହା ଅଧିକରୁ ଅଧିକ ବିଶୋଧିତ ବିନ୍ୟାସକରଣକୁ ନେଇଥାଏ ଯାହା ମୋଟା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟତା ସହିତ ମେଳ ଖାଏ |