ସାଧାରଣ TaC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପଦ୍ଧତି |

ଭାଗ / 1
CVD (ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପଦ୍ଧତି:
900-2300 At ରେ, TaCl ବ୍ୟବହାର କରି |₅ଏବଂ CnHm ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ ଏବଂ ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ଉତ୍ସ, H₂ ବାୟୁମଣ୍ଡଳ ହ୍ରାସ କରିବା, ଆରାସ୍ ବାହକ ଗ୍ୟାସ୍, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର | ପ୍ରସ୍ତୁତ ଆବରଣଟି କମ୍ପାକ୍ଟ, ୟୁନିଫର୍ମ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା | ତଥାପି, କିଛି ସମସ୍ୟା ଅଛି ଯେପରିକି ଜଟିଳ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ମହଙ୍ଗା ମୂଲ୍ୟ, କଠିନ ବାୟୁ ପ୍ରବାହ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ନିମ୍ନ ଜମା ଦକ୍ଷତା |
ଭାଗ / 2
ସ୍ଲୁରି ସିଣ୍ଟରିଂ ପଦ୍ଧତି:
ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ଉତ୍ସ, ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ ଉତ୍ସ, ବିସର୍ଜନକାରୀ ଏବଂ ବାଇଣ୍ଡର୍ ଥିବା ସ୍ଲୁରି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଉପରେ ଆବୃତ ହୋଇ ଶୁଖିବା ପରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଛାପାଯାଇଥାଏ | ପ୍ରସ୍ତୁତ ଆବରଣ ନିୟମିତ ଆଭିମୁଖ୍ୟ ବିନା ବ ows େ, କମ୍ ମୂଲ୍ୟ ଅଛି ଏବଂ ବୃହତ ଆକାରର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ | ବୃହତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଉପରେ ୟୁନିଫର୍ମ ଏବଂ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବରଣ ହାସଲ କରିବା, ସମର୍ଥନ ତ୍ରୁଟି ଦୂର କରିବା ଏବଂ ଆବରଣ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତି ବ enhance ାଇବା ପାଇଁ ଏହା ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିବାକୁ ବାକି ରହିଲା |
ଭାଗ / 3
ପ୍ଲାଜ୍ମା ସ୍ପ୍ରେ କରିବା ପଦ୍ଧତି:
TaC ପାଉଡର ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ଲାଜମା ଆର୍କ ଦ୍ୱାରା ତରଳିଯାଏ, ଉଚ୍ଚ ଗତିର ଜେଟ ଦ୍ୱାରା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ବୁନ୍ଦା ରେ ପରମାଣୁ ହୋଇ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପଦାର୍ଥ ପୃଷ୍ଠରେ ସ୍ପ୍ରେ କରାଯାଏ | ଅଣ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରିବା ସହଜ, ଏବଂ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର ବହୁତ ବଡ |

 

ଚିତ୍ର GaN epitaxial ବ grown ଼ିଥିବା MOCVD ଉପକରଣ (Veeco P75) ରେ ବ୍ୟବହାର ପରେ ୱେଫର୍ ଟ୍ରେ | ବାମ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଗୋଟିଏ TaC ସହିତ ଏବଂ ଡାହାଣ ପାର୍ଶ୍ୱରେ SiC ସହିତ ଆବୃତ ହୋଇଛି |

TaC ଆବୃତ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଅଂଶଗୁଡିକ ସମାଧାନ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |

ଭାଗ / 1
ବାନ୍ଧିବା ଶକ୍ତି:
TaC ଏବଂ ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟରେ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଭ physical ତିକ ଗୁଣ ଅଲଗା, ଆବରଣର ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତି କମ୍, ଫାଟ, ଖାଲ ଏବଂ ତାପଜ ଚାପରୁ ଦୂରେଇ ରହିବା କଷ୍ଟକର, ଏବଂ ପ୍ରକୃତ ପରିବେଶରେ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଧାରଣ କରିବା ସହଜ ଅଟେ | ବାରମ୍ବାର ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଥଣ୍ଡା ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ଭାଗ / 2
ଶୁଦ୍ଧତା:
TaC ଆବରଣ |ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଅବସ୍ଥାରେ ଥିବା ଅପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଶୁଦ୍ଧତା ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ମାଗଣା ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ଏବଂ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଅପରିଷ୍କାରର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ବିଷୟବସ୍ତୁ ମାନ ଏବଂ ଚରିତ୍ରକରଣ ମାନାଙ୍କ ସହ ସହମତି ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |
ଭାଗ / 3
ସ୍ଥିରତା:
2300 above ରୁ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ବାତାବରଣ ପ୍ରତିରୋଧ ହେଉଛି ଆବରଣର ସ୍ଥିରତା ପରୀକ୍ଷା କରିବା ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୂଚକ | ପିନ୍ହୋଲ୍, ଫାଟ, ନିଖୋଜ କୋଣ, ଏବଂ ଏକକ ଆଭିମୁଖ୍ୟ ଶସ୍ୟ ସୀମା କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଭିତରକୁ ପ୍ରବେଶ କରିବା ସହଜ ଅଟେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଆବରଣ ସୁରକ୍ଷା ବିଫଳତା |
ଭାଗ / 4
ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ:
TaC Ta2O5 କୁ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ କରିବା ଆରମ୍ଭ କରେ ଯେତେବେଳେ ଏହା 500 above ରୁ ଅଧିକ ହୁଏ, ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନର ଏକାଗ୍ରତା ସହିତ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ହାର ତୀବ୍ର ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ | ଭୂପୃଷ୍ଠ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଶସ୍ୟ ସୀମା ଏବଂ ଛୋଟ ଶସ୍ୟରୁ ଆରମ୍ଭ ହୁଏ ଏବଂ ଧୀରେ ଧୀରେ ସ୍ତମ୍ଭ ସ୍ଫଟିକ୍ ଏବଂ ଭଙ୍ଗା ସ୍ଫଟିକ୍ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଫାଙ୍କା ଏବଂ ଛିଦ୍ର ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଆବରଣ ଛଡ଼ାଯିବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଅମ୍ଳଜାନ ଅନୁପ୍ରବେଶ ତୀବ୍ର ହୁଏ | ଫଳସ୍ୱରୂପ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତରର ଖରାପ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ରୂପରେ ବିଭିନ୍ନ ରଙ୍ଗ ଥାଏ |
ଭାଗ / 5
ସମାନତା ଏବଂ ରୁଗ୍ଣତା:
ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠର ଅସମାନ ବଣ୍ଟନ ସ୍ଥାନୀୟ ତାପଜ ଚାପର ଏକାଗ୍ରତାକୁ ଆଣିପାରେ, ଫାଟିବା ଏବଂ ଛିଞ୍ଚିବାର ଆଶଙ୍କା ବ .ାଇଥାଏ | ଏହା ସହିତ, ଭୂପୃଷ୍ଠର ରୁଗ୍ଣତା ଆବରଣ ଏବଂ ବାହ୍ୟ ପରିବେଶ ମଧ୍ୟରେ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟାକୁ ସିଧାସଳଖ ପ୍ରଭାବିତ କରିଥାଏ, ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚତା ସହଜରେ ୱେଫର୍ ଏବଂ ଅସମାନ ତାପଜ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଘର୍ଷଣକୁ ବ leads ାଇଥାଏ |
ଭାଗ / 6
ଶସ୍ୟ ଆକାର:
ସମାନ ଧାନର ଆକାର ଆବରଣର ସ୍ଥିରତାକୁ ସାହାଯ୍ୟ କରେ | ଯଦି ଶସ୍ୟର ଆକାର ଛୋଟ, ବନ୍ଧଟି ଟାଣ ହୋଇନଥାଏ, ଏବଂ ଏହା ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ହୋଇ କ୍ଷୟ ହେବା ସହଜ ହୋଇଥାଏ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଶସ୍ୟ ଧାରରେ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଖାଲ ଏବଂ ଛିଦ୍ର ରହିଥାଏ, ଯାହା ଆବରଣର ପ୍ରତିରକ୍ଷା କାର୍ଯ୍ୟକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ | ଯଦି ଶସ୍ୟର ଆକାର ବହୁତ ବଡ, ଏହା ଅପେକ୍ଷାକୃତ ରୁଗ୍ଣ, ଏବଂ ତାପଜ ଚାପରେ ଆବରଣଟି ସହଜ |