2। ପରୀକ୍ଷାମୂଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା |
2.1 ଆଡେସିଭ୍ ଫିଲ୍ମର ଆରୋଗ୍ୟ |
ଏହା ଦେଖାଗଲା ଯେ ସିଧାସଳଖ ଏକ କାର୍ବନ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରିବା କିମ୍ବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପେପର ସହିତ ବନ୍ଧନ |SiC ୱାଫର୍ |ଆଡେସିଭ୍ ସହିତ ଆବୃତ ଅନେକ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କଲା:
1। ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ, ଆଡେସିଭ୍ ଫିଲ୍ମ ଅନ୍ |SiC ୱାଫର୍ |ମହତ୍ air ପୂର୍ଣ୍ଣ ବାୟୁ ରିଲିଜ୍ ହେତୁ ଏକ ସ୍କେଲ୍ ପରି ଦୃଶ୍ୟ ବିକଶିତ ହେଲା, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଭୂପୃଷ୍ଠର ଘୋରତା | ଏହା କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ପରେ ଆଡେସିଭ୍ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ବାନ୍ଧିବାରେ ରୋକିଥାଏ |
2। ବନ୍ଧନ ସମୟରେ ,।ୱେଫର୍ଗୋଟିଏ ଥର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାଗଜରେ ରଖାଯିବା ଜରୁରୀ | ଯଦି ରିପୋଜିସନ୍ ହୁଏ, ଅସମାନ ଚାପ ଆଡେସିଭ୍ ସମାନତା ହ୍ରାସ କରିପାରେ, ଯାହା ବନ୍ଧନ ଗୁଣ ଉପରେ ନକାରାତ୍ମକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |
3। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଅପରେସନ୍ ରେ, ଆଡେସିଭ୍ ସ୍ତରରୁ ବାୟୁ ନିର୍ଗତ ହେବା ଦ୍ el ାରା ପିଲିଂ ଏବଂ ଆଡେସିଭ୍ ଫିଲ୍ମ ମଧ୍ୟରେ ଅନେକ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସୃଷ୍ଟି ହେଲା, ଫଳସ୍ୱରୂପ ବନ୍ଧନ ତ୍ରୁଟି ଦେଖାଗଲା | ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ, ଆଡେସିଭ୍କୁ ପୂର୍ବରୁ ଶୁଖାଇବା |ୱେଫର୍ସ୍ପିନ୍-ଆବରଣ ପରେ ଏକ ଗରମ ପ୍ଲେଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ବନ୍ଧନ ପୃଷ୍ଠକୁ ସୁପାରିଶ କରାଯାଏ |
2.2 କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ଉପରେ ଏକ କାର୍ବନ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟା |SiC ବିହନ ୱେଫର୍ |ଏବଂ ଏହାକୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାଗଜରେ ବାନ୍ଧିବା ଦ୍ tight ାରା ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତାପମାତ୍ରାରେ ଆଡେସିଭ୍ ସ୍ତରର କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ | ଆଡେସିଭ୍ ସ୍ତରର ଅସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ସମୟରେ ଏହାର କ୍ଷୟ ହୋଇପାରେ, ସ୍ଫଟିକ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ଗୁଣକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ଅପରିଷ୍କାରଗୁଡିକ ମୁକ୍ତ କରିଥାଏ | ତେଣୁ, ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ବନ୍ଧନ ପାଇଁ ଆଡେସିଭ୍ ସ୍ତରର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଏହି ଅଧ୍ୟୟନ ତାପମାତ୍ରାର ଆଡେସିଭ୍ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପରୀକ୍ଷା କରେ | ଫୋଟୋରେଷ୍ଟର ଏକ ସମାନ ସ୍ତର ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇଥିଲା |ୱେଫର୍ଭୂପୃଷ୍ଠ ଏବଂ ଏକ ଟ୍ୟୁବ୍ ଚୁଲାରେ ରଖାଯାଏ (<10 ପା) | ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିର ସ୍ତର (400 ℃, 500 and, ଏବଂ 600 ℃) କୁ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଥିଲା ଏବଂ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ 3-5 ଘଣ୍ଟା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କରାଯାଇଥିଲା |
ପରୀକ୍ଷଣ ସୂଚିତ:
400 At ରେ, 3 ଘଣ୍ଟା ପରେ, ଆଡେସିଭ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର କାର୍ବନାଇଜ୍ ହୋଇନଥିଲା ଏବଂ ଗା dark ଲାଲ ଦେଖାଗଲା; 4 ଘଣ୍ଟା ପରେ କ significant ଣସି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦେଖାଗଲା ନାହିଁ |
500 at ରେ, 3 ଘଣ୍ଟା ପରେ, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି କଳା ହୋଇଗଲା କିନ୍ତୁ ତଥାପି ଆଲୋକ ବିସ୍ତାର କଲା; 4 ଘଣ୍ଟା ପରେ କ significant ଣସି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିବର୍ତ୍ତନ ନାହିଁ |
600 at ରେ, 3 ଘଣ୍ଟା ପରେ, ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଟି କ carbon ଣସି ହାଲୁକା ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ବିନା କଳା ହୋଇଗଲା, ଯାହା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ସୂଚାଇଥାଏ |
ତେଣୁ, ଉପଯୁକ୍ତ ବନ୍ଧନ ତାପମାତ୍ରା ≥600 be ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |
2.3 ଆଡେସିଭ୍ ଆବେଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ଆଡେସିଭ୍ ଫିଲ୍ମର ସମାନତା ଆଡେସିଭ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବା ଏବଂ ଏକ ସମାନ ବନ୍ଧନ ସ୍ତରକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୂଚକ | ଏହି ବିଭାଗଟି ବିଭିନ୍ନ ଆଡେସିଭ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଘନତା ପାଇଁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ସ୍ପିନ୍ ସ୍ପିଡ୍ ଏବଂ ଆବରଣର ସମୟ ଅନୁସନ୍ଧାନ କରେ | ସମାନତା
ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ଉପଯୋଗୀ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଉପରେ ସର୍ବନିମ୍ନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଘନତା Lmin ର ଅନୁପାତ ଭାବରେ ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରାଯାଇଛି | ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତା ମାପିବା ପାଇଁ ୱେଫର୍ ଉପରେ ପାଞ୍ଚ ପଏଣ୍ଟ ଚୟନ କରାଯାଇଥିଲା ଏବଂ ସମାନତା ଗଣନା କରାଯାଇଥିଲା | ଚିତ୍ର 4 ମାପ ବିନ୍ଦୁଗୁଡ଼ିକୁ ବର୍ଣ୍ଣନା କରେ |
SiC ୱେଫର୍ ଏବଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ବନ୍ଧନ ପାଇଁ, ପସନ୍ଦିତ ଆଡେସିଭ୍ ଫିଲ୍ମର ଘନତା 1-5 µm | ଉଭୟ କାର୍ବନ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ୱେଫର୍ / ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାଗଜ ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ 2 µm ର ଏକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ମୋଟା ଚୟନ କରାଯାଇଥିଲା | କାର୍ବନାଇଜିଂ ଆଡେସିଭ୍ ପାଇଁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ସ୍ପିନ୍-ଆବରଣ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ 2500 r / ମିନିଟରେ 15 s, ଏବଂ ବଣ୍ଡିଂ ଆଡେସିଭ୍ ପାଇଁ 2000 s / ମିନିଟରେ 15 s ଅଟେ |
2.4 ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ସିଏଫ୍ ୱେଫର୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ / ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପେପରକୁ ବାନ୍ଧିବା ସମୟରେ, ବନ୍ଧନ ସ୍ତରରୁ କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ସମୟରେ ଉତ୍ପନ୍ନ ବାୟୁ ଏବଂ ଜ organic ବ ଗ୍ୟାସକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ରୂପେ ହଟାଇବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଅସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଲୋପ ଫଳାଫଳଗୁଡିକ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ ପରିଣତ ହୁଏ, ଯାହା ଏକ ଅଣ-ଘନ ବନ୍ଧନ ସ୍ତରକୁ ନେଇଥାଏ | ଯାନ୍ତ୍ରିକ ତେଲ ପମ୍ପ ବ୍ୟବହାର କରି ବାୟୁ ଏବଂ ଜ organic ବ ଗ୍ୟାସକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରାଯାଇପାରିବ | ପ୍ରାରମ୍ଭରେ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପର ନିରନ୍ତର କାର୍ଯ୍ୟ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଏହାର ସୀମାକୁ ପହଞ୍ଚେ, ଯାହାକି ବନ୍ଧନ ସ୍ତରରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ବାୟୁ ଅପସାରଣକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ | ଦ୍ରୁତ ତାପମାତ୍ରା ବୃଦ୍ଧି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ସମୟରେ ଠିକ୍ ସମୟରେ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଲୋପକୁ ରୋକିପାରେ, ବନ୍ଧନ ସ୍ତରରେ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସୃଷ୍ଟି କରେ | ଆଡେସିଭ୍ ଗୁଣଗୁଡିକ temperature120 at ରେ ମହତ୍ out ପୂର୍ଣ୍ଣ ବାହ୍ୟ ସୂଚାଇଥାଏ, ଏହି ତାପମାତ୍ରାଠାରୁ ଅଧିକ ସ୍ଥିର |
ଆଡେସିଭ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ବ to ାଇବା ପାଇଁ ବାହ୍ୟ ଚାପ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ, ବାୟୁ ଏବଂ ଜ organic ବ ଗ୍ୟାସର ବହିଷ୍କାରକୁ ସହଜ କରିଥାଏ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ବନ୍ଧନ ସ୍ତର |
ସଂକ୍ଷେପରେ, ଚିତ୍ର 5 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଥିବା ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବକ୍ରକୁ ବିକଶିତ କରାଯାଇଥିଲା | ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଚାପରେ, ତାପମାତ୍ରା ବାହ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା (~ 120 to) କୁ ବ raised ଼ାଯାଏ ଏବଂ ଆଉଟଗାସିଂ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ନହେବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ରଖାଯାଏ | ତାପରେ, ତାପମାତ୍ରା କାର୍ବନାଇଜେସନ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ, ଆବଶ୍ୟକ ଅବଧି ପାଇଁ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କରାଯାଏ, ତା’ପରେ ପ୍ରାକୃତିକ ତାପମାତ୍ରା ଦ୍ room ାରା ରୁମ୍ ତାପମାତ୍ରା, ଚାପ ମୁକ୍ତ ଏବଂ ବନ୍ଧା ହୋଇଥିବା ୱେଫର୍ ଅପସାରଣ କରାଯାଏ |
ବିଭାଗ 2.2 ଅନୁଯାୟୀ, ଆଡେସିଭ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରକୁ 3 ଘଣ୍ଟାରୁ ଅଧିକ ସମୟ ପାଇଁ 600 at ରେ କାର୍ବନାଇଜ୍ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ | ତେଣୁ, ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବକ୍ରରେ, T2 600 to ଏବଂ t2 ରୁ 3 ଘଣ୍ଟା ସେଟ୍ ହୋଇଛି | ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବକ୍ର ପାଇଁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ମୂଲ୍ୟ, ବନ୍ଧନ ଚାପର ପ୍ରଭାବ, ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ t1, ଏବଂ ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ t2 ବନ୍ଧନ ଫଳାଫଳ ଉପରେ ଅଧ୍ୟୟନ କରୁଥିବା ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ ପରୀକ୍ଷଣ ମାଧ୍ୟମରେ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଇଥାଏ, ଟେବୁଲ୍ 2-4 ରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |
ଫଳାଫଳ ସୂଚିତ:
5 kN ର ଏକ ବନ୍ଧନ ଚାପରେ, ଗରମ ସମୟ ବନ୍ଧନ ଉପରେ ସର୍ବନିମ୍ନ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଲା |
10 kN ରେ, ବନ୍ଧନ ସ୍ତରର ଶୂନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସହିତ ହ୍ରାସ ପାଇଲା |
15 kN ରେ, ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଉତ୍ତାପକୁ ବିସ୍ତାର କରିବା ଦ୍ vo ାରା ଶୂନ୍ୟତା ହ୍ରାସ ପାଇଲା, ଶେଷରେ ସେଗୁଡିକୁ ଦୂର କଲା |
ବନ୍ଧନ ଉପରେ ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟର ପ୍ରଭାବ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ପରୀକ୍ଷଣରେ ସ୍ପଷ୍ଟ ହୋଇନଥିଲା | 15 kN ରେ ବନ୍ଧନ ଚାପ ଏବଂ 90 ମିନିଟରେ ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ, 30, 60, ଏବଂ 90 ମିନିଟର ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଉତ୍ତାପ ସମୟ ଫିକ୍ସିଂମୁକ୍ତ ଘନ ବନ୍ଧନ ସ୍ତରଗୁଡିକ ଦ୍ resulted ାରା ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ ଦର୍ଶାଇଲା | ବନ୍ଧନ ଉପରେ ସାମାନ୍ୟ ପ୍ରଭାବ |
ବନ୍ଧନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବକ୍ର ପାଇଁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ମୂଲ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି: ବନ୍ଧନ ଚାପ 15 kN, ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ 90 ମିନିଟ୍, ପ୍ରଥମ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ତାପମାତ୍ରା 120 ℃, ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗରମ ସମୟ 30 ମିନିଟ୍, ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ତାପମାତ୍ରା 600 ℃, ଏବଂ ଦ୍ୱିତୀୟ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଧାରଣ ସମୟ | 3 ଘଣ୍ଟା |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍ -11-2024 |