ସମ୍ବାଦ - ୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ଏହାର ଚିହ୍ନଟ ପଦ୍ଧତି

ର ପରିଷ୍କାରତାୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ |ପରବର୍ତ୍ତୀ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକର ଯୋଗ୍ୟତା ହାରକୁ ବହୁତ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ | ସମସ୍ତ ଅମଳ କ୍ଷତିର 50% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହୋଇଥାଏ |ୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ |ପ୍ରଦୂଷଣ

ବସ୍ତୁଗୁଡ଼ିକ ଯାହା ଉପକରଣର ବ electrical ଦୁତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଅନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ କିମ୍ବା ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସାମୂହିକ ଭାବରେ ଦୂଷିତ ବୋଲି କୁହାଯାଏ | ପ୍ରଦୂଷକ ନିଜେ ୱେଫର୍, ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ, ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ଜଳରୁ ଆସିପାରେ |ୱାଫର୍ |ଭିଜୁଆଲ୍ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯାଞ୍ଚ କିମ୍ବା ଅନ୍ତିମ ଉପକରଣ ପରୀକ୍ଷଣରେ ଜଟିଳ ଆନାଲିଟିକାଲ୍ ଉପକରଣର ବ୍ୟବହାର ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଦୂଷଣ ସାଧାରଣତ det ଚିହ୍ନଟ ହୋଇପାରେ |

Sil ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରଦୂଷକ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ |

ପ୍ରଦୂଷଣ ବିଶ୍ଳେଷଣର ଫଳାଫଳଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଦୂଷଣର ଡିଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ରକାରକୁ ପ୍ରତିଫଳିତ କରିବାକୁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ |ୱେଫର୍ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପରେ, ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ମେସିନ୍ କିମ୍ବା ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା | ଚିହ୍ନଟ ପଦ୍ଧତିର ବର୍ଗୀକରଣ ଅନୁଯାୟୀ,ୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ |ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ନିମ୍ନ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ |

ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣ |

ଧାତୁ ଦ୍ caused ାରା ହେଉଥିବା ପ୍ରଦୂଷଣ ବିଭିନ୍ନ ଡିଗ୍ରୀର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣର ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ |
କ୍ଷାର ଧାତୁ କିମ୍ବା କ୍ଷାରୀୟ ପୃଥିବୀ ଧାତୁ (ଲି, ନା, କେ, କ୍ୟା, ମିଗ୍, ବା, ଇତ୍ୟାଦି) pn ସଂରଚନାରେ ଲିକେଜ୍ କରେଣ୍ଟ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ପରବର୍ତ୍ତୀ ସମୟରେ ଅକ୍ସାଇଡ୍ର ଭାଙ୍ଗିବା ଭୋଲଟେଜକୁ ନେଇଥାଏ | ସଂକ୍ରମଣ ଧାତୁ ଏବଂ ଭାରୀ ଧାତୁ (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, ଇତ୍ୟାଦି) ପ୍ରଦୂଷଣ ବାହକ ଜୀବନଚକ୍ରକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ, ଉପାଦାନର ସେବା ଜୀବନକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ କିମ୍ବା ଉପାଦାନ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ସମୟରେ ଅନ୍ଧକାର କରେଣ୍ଟକୁ ବ increase ାଇପାରେ |

ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଚିହ୍ନିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ମୋଟ ପ୍ରତିଫଳନ ଏକ୍ସ-ରେ ଫ୍ଲୋରୋସେନ୍ସ, ପରମାଣୁ ଅବଶୋଷଣ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରସ୍କୋପି ଏବଂ ଇନ୍ଦ୍ରିୟାତ୍ମକ ଭାବରେ ଯୋଡି ହୋଇଥିବା ପ୍ଲାଜମା ମାସ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରୋମେଟ୍ରି (ICP-MS) |

▲ ୱାଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ | ଅନୁସନ୍ଧାନ ଗେଟ୍ |

ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣ ସଫା କରିବା, ଇଚିଂ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ଡିପୋଜିସନ ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟବହୃତ ରେଜେଣ୍ଟରୁ କିମ୍ବା ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଯନ୍ତ୍ରଗୁଡ଼ିକରୁ ଆସିପାରେ, ଯେପରିକି ଚୁଲି, ରିଆକ୍ଟର, ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ଇତ୍ୟାଦି, କିମ୍ବା ଏହା ବେପରୁଆ ୱେଫର୍ ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ଦ୍ୱାରା ହୋଇପାରେ |

କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ |

ପ୍ରକୃତ ପଦାର୍ଥ ଜମା ସାଧାରଣତ surface ଭୂପୃଷ୍ଠର ତ୍ରୁଟିରୁ ବିଛାଯାଇଥିବା ଆଲୋକ ଚିହ୍ନଟ କରି ପାଳନ କରାଯାଏ | ତେଣୁ, କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ପାଇଁ ଅଧିକ ସଠିକ୍ ବ scientific ଜ୍ଞାନିକ ନାମ ହେଉଛି ହାଲୁକା ବିନ୍ଦୁ ଦୋଷ | କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ଇଚିଂ ଏବଂ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅବରୋଧ କିମ୍ବା ମାସ୍କିଂ ପ୍ରଭାବ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ |

ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଅଭିବୃଦ୍ଧି କିମ୍ବା ଜମା ସମୟରେ, ପିନ୍ହୋଲ୍ ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋଭଏଡ୍ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଯଦି କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ବଡ଼ ଏବଂ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍, ତେବେ ସେମାନେ ସର୍ଟ ସର୍କିଟ୍ ମଧ୍ୟ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରନ୍ତି |

କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣର ଗଠନ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ |

କ୍ଷୁଦ୍ର କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ପୃଷ୍ଠରେ ଛାୟା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯେପରିକି ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସମୟରେ | ଯଦି ଫୋଟୋମାସ୍କ ଏବଂ ଫୋଟୋରେସିଷ୍ଟ ସ୍ତର ମଧ୍ୟରେ ବଡ଼ କଣିକା ଅବସ୍ଥିତ, ସେମାନେ ଯୋଗାଯୋଗ ଏକ୍ସପୋଜରର ରେଜୋଲୁସନ ହ୍ରାସ କରିପାରିବେ |

ଏହା ସହିତ, ସେମାନେ ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ କିମ୍ବା ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଂ ସମୟରେ ତ୍ୱରିତ ଆୟନକୁ ଅବରୋଧ କରିପାରିବେ | କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଦ୍ୱାରା ଆବଦ୍ଧ ହୋଇପାରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ump ୁଲା ଏବଂ ump ୁଲା ଥାଏ | ପରବର୍ତ୍ତୀ ଜମା ହୋଇଥିବା ସ୍ତରଗୁଡିକ ଏହି ସ୍ଥାନଗୁଡିକରେ ଜମାକୁ ଫାଟିପାରେ କିମ୍ବା ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରେ, ଏକ୍ସପୋଜର ସମୟରେ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରିଥାଏ |

ଜ Organ ବିକ ପ୍ରଦୂଷଣ |

କାର୍ବନ ଧାରଣ କରିଥିବା ପ୍ରଦୂଷକ, ଏବଂ C ସହିତ ଜଡିତ ବନ୍ଧନ ସଂରଚନାକୁ ଜ organic ବ ପ୍ରଦୂଷଣ କୁହାଯାଏ | ଜ Organ ବ ପ୍ରଦୂଷକ ଉପରେ ଅପ୍ରତ୍ୟାଶିତ ହାଇଡ୍ରୋଫୋବିକ୍ ଗୁଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ |ୱେଫର୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ |, ଭୂପୃଷ୍ଠର ରୁଗ୍ଣତା ବ, ାନ୍ତୁ, ଏକ ବିପଜ୍ଜନକ ପୃଷ୍ଠ ଉତ୍ପାଦନ କରନ୍ତୁ, ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ବୃଦ୍ଧିକୁ ବ୍ୟାହତ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣର ପରିଷ୍କାର ପ୍ରଭାବକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ ଯଦି ପ୍ରଥମେ ପ୍ରଦୂଷକଗୁଡିକ ଅପସାରଣ କରାଯାଏ ନାହିଁ |

ଏହିପରି ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ ସାଧାରଣତ instruments ଥର୍ମାଲ୍ ଡିସର୍ପସନ୍ ଏମ୍ଏସ୍, ଏକ୍ସ-ରେ ଫଟୋଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରସ୍କୋପି ଏବଂ ଅଗର୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରସ୍କୋପି ଭଳି ଯନ୍ତ୍ର ଦ୍ୱାରା ଚିହ୍ନଟ ହୁଏ |

▲ ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ |

ଗ୍ୟାସୀୟ ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ଜଳ ପ୍ରଦୂଷଣ |

ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଅଣୁ ଏବଂ ମଲିକୁଲାର ଆକାର ସହିତ ଜଳ ପ୍ରଦୂଷଣ ସାଧାରଣତ high ସାଧାରଣ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ବିଶିଷ୍ଟ କଣିକା ବାୟୁ (HEPA) କିମ୍ବା ଅଲ୍ଟ୍ରା-ନିମ୍ନ ଅନୁପ୍ରବେଶ ବାୟୁ ଫିଲ୍ଟର (ULPA) ଦ୍ୱାରା ଅପସାରିତ ହୁଏ ନାହିଁ | ଏହିପରି ପ୍ରଦୂଷଣ ସାଧାରଣତ ion ଆୟନ ମାସ ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରୋମେଟ୍ରି ଏବଂ କ୍ୟାପିଲାରୀ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଫୋରେସିସ୍ ଦ୍ୱାରା ନୀରିକ୍ଷଣ କରାଯାଏ |

କେତେକ ପ୍ରଦୂଷକ ଏକାଧିକ ବର୍ଗର ହୋଇପାରେ, ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କଣିକା ଜ organic ବିକ କିମ୍ବା ଧାତବ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ଉଭୟକୁ ନେଇ ଗଠିତ ହୋଇପାରେ, ତେଣୁ ଏହି ପ୍ରକାର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଅନ୍ୟ ପ୍ରକାର ଭାବରେ ଶ୍ରେଣୀଭୁକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ |

▲ ଗ୍ୟାସୀୟ ମଲିକୁଲାର ପ୍ରଦୂଷକ | IONICON

ଏଥିସହ, ୱେଫର୍ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ମଲିକୁଲାର ପ୍ରଦୂଷଣ, କଣିକା ପ୍ରଦୂଷଣ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ଉତ୍ସର ଆକାର ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୃତ ଆବର୍ଜନା ପ୍ରଦୂଷଣ ଭାବରେ ଶ୍ରେଣୀଭୁକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ | ପ୍ରଦୂଷଣ କଣିକାର ଆକାର ଯେତେ ଛୋଟ, ଅପସାରଣ କରିବା ସେତିକି କଷ୍ଟକର | ଆଜିର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନ ଉତ୍ପାଦନରେ, ୱେଫର୍ ସଫେଇ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମଗ୍ର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର 30% - 40% ଅଟେ |