ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି କ’ଣ?

ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହେଉଛି ଏକ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଯାହା ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍) ରେ ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସ୍ତର ବ ows ାଇଥାଏ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ସମାନ ସ୍ଫଟିକ୍ ଆଭିଏଣ୍ଟେସନ୍ ସହିତ, ଯେପରି ମୂଳ ସ୍ଫଟିକ୍ ବାହ୍ୟରେ ବିସ୍ତାର ହୋଇଛି |ଏହି ନୂତନ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି ହୋଇଥିବା ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସ୍ତର କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ପ୍ରକାର, ପ୍ରତିରୋଧକତା ଇତ୍ୟାଦି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଠାରୁ ଭିନ୍ନ ହୋଇପାରେ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଘନତା ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଆବଶ୍ୟକତା ସହିତ ମଲ୍ଟି ଲେୟାର୍ ସିଙ୍ଗଲ୍ ସ୍ଫଟିକ୍ ବ grow ାଇପାରେ, ଏହିପରି ଡିଭାଇସ୍ ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଡିଭାଇସ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ନମନୀୟତାକୁ ବହୁଗୁଣିତ କରିଥାଏ |ଏହା ସହିତ, ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ ବୃହତ ଆକାରର ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଗୁଡିକରେ ବସ୍ତୁ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଏପିଟ୍ୟାକ୍ସିଆଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

ଏପିଟାକ୍ସିର ଶ୍ରେଣୀକରଣ ମୁଖ୍ୟତ the ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ବିଭିନ୍ନ ରାସାୟନିକ ରଚନା ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପଦ୍ଧତି ଉପରେ ଆଧାରିତ |
ବିଭିନ୍ନ ରାସାୟନିକ ରଚନା ଅନୁଯାୟୀ, ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧିକୁ ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ:

1. ହୋମୋପିଟାକ୍ସିଆଲ୍: ଏହି କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ସମାନ ରାସାୟନିକ ରଚନା ଅଛି |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସିଲିକନ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରଗୁଡିକ ସିଲିକନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ସିଧାସଳଖ ବ grown ିଥାଏ |

2. ହେଟେରୋପିଟାକ୍ସି: ଏଠାରେ, ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ରାସାୟନିକ ଗଠନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଠାରୁ ଭିନ୍ନ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ନୀଳମଣି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକ ଗାଲିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ବ grown ିଥାଏ |

ବିଭିନ୍ନ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପଦ୍ଧତି ଅନୁଯାୟୀ, ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଯୁକ୍ତିକୁ ମଧ୍ୟ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ:

1. ମଲିକୁଲାର ବିମ୍ ଏପିଟାକ୍ସି (MBE): ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଏହା ଏକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଯାହା ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ରେ ମଲିକୁଲାର୍ ବିମ୍ ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ବିମ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ହାସଲ ହୁଏ |

2. ଧାତୁ-ଜ organic ବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(MOCVD): ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଧାତୁ-ଜ organic ବ ଯ ounds ଗିକ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍-ଫେଜ୍ ରେଜେଣ୍ଟ ବ୍ୟବହାର କରି ଆବଶ୍ୟକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସାମଗ୍ରୀ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିଥାଏ |ଯ comp ଗିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ଏହାର ବ୍ୟାପକ ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି |

3. ତରଳ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏପିଟାକ୍ସି (LPE): ଗୋଟିଏ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟରେ ତରଳ ପଦାର୍ଥ ଯୋଗ କରି ଏବଂ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉତ୍ତାପ ଚିକିତ୍ସା କରି, ତରଳ ପଦାର୍ଥ ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ସ୍ଫଟିକ୍ ହୁଏ |ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ prepared ାରା ପ୍ରସ୍ତୁତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରଗୁଡ଼ିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଲାଟାଇସ୍ ସହିତ ମେଳ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ପ୍ରାୟତ comp ଯ ound ଗିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

4. ବାଷ୍ପ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଏପିଟାକ୍ସି (VPE): ଆବଶ୍ୟକୀୟ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସାମଗ୍ରୀ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ୟାସୀୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟବହାର କରେ |ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବୃହତ କ୍ଷେତ୍ର, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ଯ ound ଗିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ବିଶେଷ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ |

5. ରାସାୟନିକ ବିମ୍ ଏପିଟାକ୍ସି (CBE): ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ବ grow ାଇବା ପାଇଁ ରାସାୟନିକ ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ରାସାୟନିକ ବିମ୍ ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ବିମ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ହାସଲ ହୁଏ |ଉଚ୍ଚମାନର ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ଏହାର ବ୍ୟାପକ ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି |

6. ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଏପିଟାକ୍ସି (ALE): ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବ୍ୟବହାର କରି ଆବଶ୍ୟକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ସ୍ତର ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥାଏ |ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବୃହତ କ୍ଷେତ୍ର, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିପାରିବ ଏବଂ ଯ comp ଗିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରାୟତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

7. ହଟ୍ ୱାଲ୍ ଏପିଟାକ୍ସି (HWE): ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଗରମ ମାଧ୍ୟମରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ରିଆକ୍ଟାଣ୍ଟଗୁଡିକ ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ କରେ |ଏହି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବୃହତ କ୍ଷେତ୍ର, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣାତ୍ମକ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ମଧ୍ୟ ଉପଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ଯ comp ଗିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ବିଶେଷ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |