ସେମିସେରା |ପ୍ରଦାନ କରିବାକୁ ଖୁସି ଅଟେ |PFA କ୍ୟାସେଟ୍ |, ପରିବେଶରେ ୱେଫର୍ ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରିମିୟମ୍ ପସନ୍ଦ ଯେଉଁଠାରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ସର୍ବାଧିକ | ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା Perfluoroalkoxy (PFA) ସାମଗ୍ରୀରୁ ନିର୍ମିତ ଏହି କ୍ୟାସେଟ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫ୍ୟାବ୍ରିକେସନ୍ରେ ସବୁଠାରୁ ଚାହିଦା ପରିସ୍ଥିତିକୁ ପ୍ରତିହତ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି, ଯାହା ଆପଣଙ୍କର ୱାଫରର ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ଅଖଣ୍ଡତାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |
ଅସନ୍ତୁଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ |ThePFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥକୁ ଉନ୍ନତ ପ୍ରତିରୋଧ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ହୋଇଛି, ଯାହା ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଏସିଡ୍, ଦ୍ରବଣକାରୀ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କଠିନ ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ଜଡିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏହା ଏକ ଉପଯୁକ୍ତ ପସନ୍ଦ ଅଟେ | ଏହି ଦୃ ust ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ କ୍ୟାସେଟ୍ ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷତିକାରକ ପରିବେଶରେ ମଧ୍ୟ ଅକ୍ଷୁର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ରହିଥାଏ, ଯାହା ଦ୍ its ାରା ଏହାର ଆୟୁ ବ ending ଼ିଥାଏ ଏବଂ ବାରମ୍ବାର ବଦଳାଇବା ଆବଶ୍ୟକତା କମିଯାଏ |
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧ ନିର୍ମାଣସେମିସେରାର |PFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଶୁଦ୍ଧ PFA ସାମଗ୍ରୀରୁ ନିର୍ମିତ, ଯାହା ୱେଫର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ରୋକିବାରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ | ଏହି ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ନିର୍ମାଣ କଣିକା ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଲିଚିଂର ବିପଦକୁ କମ୍ କରିଥାଏ, ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ତୁମର ୱାଫରଗୁଡିକ ଅପରିଷ୍କାରରୁ ସୁରକ୍ଷିତ ଅଛି ଯାହା ସେମାନଙ୍କ ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସାମ୍ନା କରିପାରେ |
ଉନ୍ନତ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା |ସ୍ଥାୟୀତା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି ,।PFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ଅତ୍ୟଧିକ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କଠୋର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଅବସ୍ଥାରେ ଏହାର ଗଠନମୂଳକ ଅଖଣ୍ଡତା ବଜାୟ ରଖେ | ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାର ସମ୍ମୁଖୀନ ହେଉ କିମ୍ବା ବାରମ୍ବାର ନିୟନ୍ତ୍ରଣର ଶିକାର ହେଉ, ଏହି କ୍ୟାସେଟ୍ ଏହାର ଆକୃତି ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିଥାଏ, ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ |
ସୁରକ୍ଷିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ସଠିକ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ |Theସେମିସେରା PFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ସଠିକ୍ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଯାହା ସୁରକ୍ଷିତ ଏବଂ ସ୍ଥିର ୱେଫର୍ ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ | ୱାଫର୍ଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷିତ ସ୍ଥାନରେ ରଖିବା ପାଇଁ ପ୍ରତ୍ୟେକ ସ୍ଲଟ୍ ଯତ୍ନର ସହିତ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯେକ movement ଣସି ଗତିବିଧିକୁ ରୋକିବା କିମ୍ବା କ୍ଷତି ଘଟାଇପାରେ | ଏହି ସଠିକତା ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ସ୍ଥିର ଏବଂ ସଠିକ୍ ୱେଫର୍ ପ୍ଲେସମେଣ୍ଟକୁ ସମର୍ଥନ କରେ, ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦକ୍ଷତାକୁ ସାହାଯ୍ୟ କରେ |
ସମଗ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବହୁମୁଖୀ ପ୍ରୟୋଗ |ଏହାର ଉନ୍ନତ ବସ୍ତୁ ଗୁଣ ପାଇଁ ଧନ୍ୟବାଦ ,।PFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫ୍ୟାବ୍ରିକେସନ୍ ର ବିଭିନ୍ନ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେବାକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବହୁମୁଖୀ | ଓଦା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍, ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏହା ବିଶେଷ ଉପଯୁକ୍ତ ଅଟେ ଯାହା କଠିନ ରାସାୟନିକ ପରିବେଶ ସହିତ ଜଡିତ | ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଅଖଣ୍ଡତା ଏବଂ ୱେଫର୍ ଗୁଣବତ୍ତା ବଜାୟ ରଖିବାରେ ଏହାର ଅନୁକୂଳତା ଏହାକୁ ଏକ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ଉପକରଣ କରିଥାଏ |
ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଅଭିନବ ପ୍ରତି ପ୍ରତିବଦ୍ଧତା |ସେମିସେରାରେ, ଆମେ ଉତ୍ପାଦ ଯୋଗାଇବାକୁ ପ୍ରତିଶ୍ରୁତିବଦ୍ଧ ଯାହା ସର୍ବୋଚ୍ଚ ଶିଳ୍ପ ମାନକ ପୂରଣ କରେ | ThePFA କ୍ୟାସେଟ୍ |ଏହି ପ୍ରତିବଦ୍ଧତାର ଉଦାହରଣ ଦେଇଥାଏ, ଏକ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ ଯାହା ତୁମର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ନିରବଚ୍ଛିନ୍ନ ଭାବରେ ଏକୀଭୂତ ହୁଏ | ପ୍ରତ୍ୟେକ କ୍ୟାସେଟ୍ କଠୋର ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଅତିକ୍ରମ କରେ ଯେ ଏହା ଆମର କଠୋର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ମାନଦଣ୍ଡକୁ ପୂରଣ କରେ, ସେମିସେରାରୁ ଆପଣ ଆଶା କରୁଥିବା ଉତ୍କର୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି |
| ଆଇଟମ୍ | ଉତ୍ପାଦନ | ଅନୁସନ୍ଧାନ | | ଡମି |
| ସ୍ଫଟିକ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ | | |||
| ପଲିଟାଇପ୍ | | 4H | ||
| ସର୍ଫେସ୍ ଆରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ତ୍ରୁଟି | | <11-20> 4 ± 0.15 ° | | ||
| ବ Elect ଦ୍ୟୁତିକ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ | | |||
| ଡୋପାଣ୍ଟ | | n- ପ୍ରକାର ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ | | ||
| ପ୍ରତିରୋଧକତା | | 0.015-0.025ohm · cm | ||
| ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ | | |||
| ବ୍ୟାସ | 150.0 ± 0.2 ମିମି | ||
| ମୋଟା | | 350 ± 25 μm | ||
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଆଭିଏଣ୍ଟେସନ୍ | | [1-100] ± 5 ° | | ||
| ପ୍ରାଥମିକ ଫ୍ଲାଟ ଲମ୍ବ | | 47.5 ± 1.5 ମିମି | ||
| ଦ୍ Secondary ିତୀୟ ଫ୍ଲାଟ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| ଧନୁ | -15μm ~ 15μm | | -35μm ~ 35μm | | -45μm ~ 45μm | |
| ଯୁଦ୍ଧ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ସାମ୍ନା (ସି-ଚେହେରା) ରୁଗ୍ଣତା (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ଗଠନ | |||
| ମାଇକ୍ରୋପାଇପ୍ ସାନ୍ଧ୍ରତା | | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| ଧାତୁ ଅଶୁଦ୍ଧତା | | ≤5E10atoms / cm2 | | NA | |
| BPD | ≤1500 ea / cm2 | | 0003000 ea / cm2 | | NA |
| TSD | ≤500 ea / cm2 | | 0001000 ea / cm2 | | NA |
| ଆଗ ଗୁଣବତ୍ତା | | |||
| ଆଗ | Si | ||
| ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଶେଷ | ସି-ମୁହଁ CMP | ||
| କଣିକା | | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| ସ୍କ୍ରାଚ୍ | | ≤5ea / mm ସଂଗୃହିତ ଲମ୍ବ ≤ ଡାଇମିଟର | | ସଂକଳନ ଦ length ର୍ଘ୍ୟ≤2 * ବ୍ୟାସ | | NA |
| କମଳା ଚୋପା / ଗର୍ତ୍ତ / ଦାଗ / ଷ୍ଟ୍ରିଏସନ୍ / ଫାଟ / ପ୍ରଦୂଷଣ | | କିଛି ନୁହେଁ | | NA | |
| ଏଜ୍ ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍ / ଫ୍ରାକଚର୍ / ହେକ୍ସ ପ୍ଲେଟ୍ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ||
| ପଲିଟାଇପ୍ କ୍ଷେତ୍ରଗୁଡିକ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤20% | | ସଂଗୃହିତ କ୍ଷେତ୍ର ≤30% | |
| ଆଗ ଲେଜର ମାର୍କିଂ | | କିଛି ନୁହେଁ | | ||
| ପଛ ଗୁଣ | |||
| ପଛକୁ ଶେଷ | C- ମୁହଁ CMP | | ||
| ସ୍କ୍ରାଚ୍ | | ≤5ea / mm, ସଂଗୃହିତ ଲମ୍ବ≤2 * ବ୍ୟାସ | | NA | |
| ପଛ ଦୋଷ (ଧାର ଚିପ୍ସ / ଇଣ୍ଡେଣ୍ଟସ୍) | କିଛି ନୁହେଁ | | ||
| ପଛ ରୁଗ୍ଣତା | | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| ପଛ ଲେଜର ମାର୍କିଂ | | 1 ମିମି (ଉପର ଧାରରୁ) | ||
| ଧାର | |||
| ଧାର | ଚାମ୍ଫର୍ | | ||
| ପ୍ୟାକେଜିଂ | |||
| ପ୍ୟାକେଜିଂ | ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ ସହିତ ଏପି-ପ୍ରସ୍ତୁତ | ମଲ୍ଟି ୱେଫର୍ କ୍ୟାସେଟ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ | | ||
| * ଟିପ୍ପଣୀ ： "NA" ର ଅର୍ଥ କ no ଣସି ଅନୁରୋଧ ଆଇଟମଗୁଡିକ SEMI-STD କୁ ସୂଚିତ କରିପାରିବ ନାହିଁ | | |||
