SOI ୱାଫର୍ସ |

ଆଇଟମ୍ |

ଯୁକ୍ତି

ମୋଟ ଉପରେ

ୱାଫର୍ ବ୍ୟାସ |
Mm (mm)

50/75/100/125/150/200mm ± 25um |

ଧନୁ / ଯୁଦ୍ଧ
翘曲度 (

<10um

କଣିକା |
颗粒度 (

0.3um <30ea

ଫ୍ଲାଟ / ନଚ୍
定位边 / 定位槽

ଫ୍ଲାଟ କିମ୍ବା ନଚ୍

ଧାର ବହିଷ୍କାର |
Mm (mm)

/

ଉପକରଣ ସ୍ତର
器件层

ଉପକରଣ-ସ୍ତର ପ୍ରକାର / ଡୋପାଣ୍ଟ |
器件层掺杂类型

N- ପ୍ରକାର / P- ପ୍ରକାର |
B / P / Sb / ଯେପରି |

ଉପକରଣ-ସ୍ତର ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ |
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |

ଉପକରଣ-ସ୍ତର ମୋଟା |
Um (ଓମ୍)

0.1 ~ 300um

ଉପକରଣ-ସ୍ତର ପ୍ରତିରୋଧକତା |
器件层电阻率 (ohm • cm)

0.001 ~ 100,000 ଓମ୍-ସେମି |

ଉପକରଣ-ସ୍ତର କଣିକା |
器件层颗粒度 (

<30ea@0.3

ଉପକରଣ ସ୍ତର TTV |
器件层 TTV (

<10um

ଉପକରଣ ସ୍ତର ସମାପ୍ତ
器件层表面处理

ପଲିସ୍

BOX

ସମାଧି ଥର୍ମାଲ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ମୋଟା |
Um (ଓମ୍)

50nm (500Å) ~ 15um |

ସ୍ତର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ |
衬底

ୱେଫର୍ ପ୍ରକାର / ଡୋପାଣ୍ଟ ପରିଚାଳନା କରନ୍ତୁ |
衬底层类型

N- ପ୍ରକାର / P- ପ୍ରକାର |
B / P / Sb / ଯେପରି |

ୱେଫର୍ ଓରିଏଣ୍ଟେସନ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ |
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |

ୱେଫର୍ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ |
衬底电阻率 (ohm • cm)

0.001 ~ 100,000 ଓମ୍-ସେମି |

ୱେଫର୍ ମୋଟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ |
Um (ଓମ୍)

> 100um

ୱେଫର୍ ସମାପ୍ତ କରନ୍ତୁ |
衬底表面处理

ପଲିସ୍

ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ଟାର୍ଗେଟ୍ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟର SOI ୱାଫର୍ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇପାରିବ |