ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା |ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (ସିସି) ତୃତୀୟ ପି generation ଼ିର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରର ଏକ ପ୍ରମୁଖ ପଦାର୍ଥ, କିନ୍ତୁ ଏହାର ଅମଳ ହାର ଶିଳ୍ପ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଏକ ସୀମିତ କାରକ |ସେମିସେରାର ଲାବୋରେଟୋରୀଗୁଡିକରେ ବ୍ୟାପକ ପରୀକ୍ଷଣ ପରେ, ଏହା ଜଣାପଡିଛି ଯେ ସ୍ପ୍ରେ ଏବଂ ସିଣ୍ଟର୍ ହୋଇଥିବା TaC ରେ ଆବଶ୍ୟକ ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ସମାନତା ଅଭାବ |ଏହାର ବିପରୀତରେ, CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା 5 PPM ର ଶୁଦ୍ଧତା ସ୍ତର ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ସମାନତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |CVD TaC ର ବ୍ୟବହାର ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱାଫର୍ ର ଅମଳ ହାରକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ |ଆମେ ଆଲୋଚନାକୁ ସ୍ୱାଗତ କରୁ |TaC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଥ୍ରୀ-ସେଗମେଣ୍ଟ୍ ରିଙ୍ଗ୍ | SiC ୱାଫରର ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ଆହୁରି ହ୍ରାସ କରିବାକୁ |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ |ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
