TaC ଆବରଣ |ଏହା ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସାମଗ୍ରୀର ଆବରଣ, ଯାହା ସାଧାରଣତ metal ଧାତବ ଜ organic ବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (MOCVD) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଦ୍ୱାରା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରରେ ପ୍ରସ୍ତୁତ | ଏହି ଆବରଣର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣ ଅଛି, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ କଠିନତା, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା, ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଉଚ୍ଚ-ଚାହିଦା ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ |
MOCVD ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ହେଉଛି ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ଧାତୁ ଜ organic ବ ପୂର୍ବର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଇପ୍ସିତ ଯ ound ଗିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିଥାଏ | ପ୍ରସ୍ତୁତି ବେଳେTaC ଆବରଣ |, ଉପଯୁକ୍ତ ଧାତୁ ଜ organic ବ ପୂର୍ବସୂତ୍ର ଏବଂ ଅଙ୍ଗାରକାମ୍ଳ ଉତ୍ସ ଚୟନ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ଜମା ପାରାମିଟରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା, ଏକ ୟୁନିଫର୍ମ ଏବଂ ଘନ TaC ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏକ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରରେ ଜମା କରାଯାଇପାରିବ |
ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
