ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
--ଇ inch ୍ଚର ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (ସିସି) ୱାଫରର ଆଗମନ ସହିତ, ବିଭିନ୍ନ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଅଧିକ କଠୋର ହୋଇପଡ଼ିଛି, ବିଶେଷକରି ଏପିଟାକ୍ସି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଯେଉଁଠାରେ ତାପମାତ୍ରା 2000 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସରୁ ଅଧିକ ହୋଇପାରେ | ପାରମ୍ପାରିକ ସସେପ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସହିତ ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, ଏହି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସବଲିମିଟ୍ ହେବାକୁ ଲାଗେ, ଏପିଟାକ୍ସି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରେ | ଅବଶ୍ୟ, CVD ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଏହି ସମସ୍ୟାକୁ ଫଳପ୍ରଦ ଭାବରେ ସମାଧାନ କରିଥାଏ, ତାପମାତ୍ରା 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ରହିଥାଏ ଏବଂ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ | ସେମିସେରା ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ 's ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC CVD ଆବରଣ ୱାଫର୍ ସସେପ୍ଟର୍ |ଆମର ଉନ୍ନତ ସମାଧାନ ବିଷୟରେ ଅଧିକ ଅନୁସନ୍ଧାନ କରିବାକୁ |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
