ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
ସେଣ୍ଟାଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱାଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ୱେଫର୍ ବାହକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ୱାଫରର ନିରାପତ୍ତା, ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସେମାନେ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ଏବଂ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ବାହକଙ୍କର ସେବା ଜୀବନ ବ extend ାଇପାରେ, ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ |
ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ୱେଫର୍ ବାହକର ବର୍ଣ୍ଣନା ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଟେ:
1। ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ହେଉଛି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା, ଉଚ୍ଚ କଠିନତା, ଉଚ୍ଚ ତରଳିବା ପଏଣ୍ଟ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ସହିତ ଏକ ପଦାର୍ଥ, ତେଣୁ ଏହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
2। ସର୍ଫେସ୍ ଆବରଣ: ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଏବଂ ଘନ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ଗଠନ ପାଇଁ ଏକ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ୱେଫର୍ ବାହକ ପୃଷ୍ଠରେ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ | ଭଲ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଥିବାବେଳେ ଏହି ଆବରଣ ଅତିରିକ୍ତ ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ପୋଷାକ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ |
3। ସମତଳତା ଏବଂ ସଠିକତା: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ୱେଫର୍ କ୍ୟାରିଅରର ଏକ ଉଚ୍ଚତର ସମତଳତା ଏବଂ ସଠିକତା ଅଛି, ଯାହା ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱାଫର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ | ୱେଫର୍ ର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ବାହକ ପୃଷ୍ଠର ସମତଳତା ଏବଂ ସମାପ୍ତି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ |
4। ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ୱେଫର୍ ବାହକଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପରିବେଶରେ ବିକଳାଙ୍ଗ କିମ୍ବା ଖୋଲା ନହୋଇ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖିପାରିବେ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ୱାଫର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବେ |
5। କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧକତା ଅଛି, ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥ ଏବଂ ଦ୍ରବଣର କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ ଏବଂ ବାହକକୁ ତରଳ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ କ୍ଷୟରୁ ରକ୍ଷା କରିପାରିବ |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
