ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ସସେପ୍ଟର ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲେଟ୍ |ଏକ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ବା ସମର୍ଥନ ସଂରଚନା ଯାହା ଏକ ପତଳା ସ୍ତର ସହିତ ଆଚ୍ଛାଦିତ |ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ |। ଏହି ଆବରଣ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ପୃଷ୍ଠରେ ଶାରୀରିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD) କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଭଳି କ ques ଶଳ ଦ୍ formed ାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇପାରେ, ଯାହା ସସେପ୍ଟରକୁ ସର୍ବୋଚ୍ଚ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ |ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ |.
ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବୃତ ବେସ୍ ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲେଟଗୁଡିକର ମୁଖ୍ୟ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
1. ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ରହିଥାଏ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶରେ ସମର୍ଥନ ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ଆବୃତ ବେସ୍ ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲେଟ୍ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ |
2. କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ଭଲ କ୍ଷତିକାରକ ପ୍ରତିରୋଧ ଅଛି, ରାସାୟନିକ କ୍ଷୟ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ ଏବଂ ଆଧାରର ସେବା ଜୀବନ ବ extend ାଇବ |
3. ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣର ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ବେସ୍ ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲେଟକୁ ଭଲ ପୋଷାକ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଘଟଣା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ |
4. ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା: ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡରେ ବିଭିନ୍ନ ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥରେ ଉଚ୍ଚ ସ୍ଥିରତା ରହିଥାଏ, ଯାହାକି ଆବୃତ ବେସ୍ ସପୋର୍ଟ ପ୍ଲେଟ୍ କିଛି କ୍ଷତିକାରକ ପରିବେଶରେ ଭଲ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରିଥାଏ |
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
