ସେମିସେରା ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ଏବଂ ବାହକ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ |ସେମିସେରା ଅଗ୍ରଣୀ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସହନଶୀଳତା, SIC / GAN ସ୍ଫଟିକ ଏବଂ EPI ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆବୃତ TaC ସସେପ୍ଟର |), ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ରିଆକ୍ଟର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜୀବନ ବ ending ାଇବା | ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ TaC ଆବରଣର ବ୍ୟବହାର ହେଉଛି ଧାର ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ଏବଂ ସ୍ଫଟିକ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ସୁଦୃ। କରିବା, ଏବଂ ସେମିସେରା ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା (CVD) ର ସମାଧାନ କରି ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚିଛି |
ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପଦାର୍ଥ, କିନ୍ତୁ ଏହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସହଜରେ ଅକ୍ସିଡାଇଜ୍ ହୁଏ | ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚୁଲାରେ ମଧ୍ୟ ଏହା ଧୀର ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ହୋଇପାରେ | ଏକ CVD ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC) ଆବରଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଦ୍ୱାରା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସୁରକ୍ଷିତ ହୋଇପାରିବ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସହିତ ସମାନ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ | TaC ମଧ୍ୟ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ପଦାର୍ଥ, ଅର୍ଥାତ୍ ଏହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଆର୍ଗନ୍ କିମ୍ବା ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଭଳି ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବ ନାହିଁ |ଅନୁସନ୍ଧାନ |ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ CVD ଆବରଣ EPI ସସେପ୍ଟର | ବର୍ତ୍ତମାନ!
TaC ସହିତ ଏବଂ ବିନା |
TaC (ଡାହାଣ) ବ୍ୟବହାର କରିବା ପରେ
ଅଧିକନ୍ତୁ, ସେମିସେରାର |TaC- ଆବୃତ ଦ୍ରବ୍ୟ |ତୁଳନାରେ ଏକ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ଏବଂ ଅଧିକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁ |SiC ଆବରଣ |.ଲାବୋରେଟୋରୀ ମାପଗୁଡିକ ପ୍ରମାଣିତ କରିଛି ଯେ ଆମର |TaC ଆବରଣ |ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଧି ପାଇଁ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ 2300 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ | ନିମ୍ନରେ ଆମର ନମୁନାଗୁଡ଼ିକର କିଛି ଉଦାହରଣ ଦିଆଯାଇଛି:
