ଏହାର ମୂଳ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ |MOCVD ଉପକରଣ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ ହେଉଛି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ର ବାହକ ଏବଂ ଗରମ ଶରୀର, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସାମଗ୍ରୀର ସମାନତା ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ, ତେଣୁ ଏହାର ଗୁଣ ସିଧାସଳଖ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସିଟ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ଉପରେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ ଏବଂ ସେହି ସମୟରେ ସଂଖ୍ୟା ବୃଦ୍ଧି ସହିତ | ବ୍ୟବହାର ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ସ୍ଥିତିର ପରିବର୍ତ୍ତନ, ପିନ୍ଧିବା ଅତି ସହଜ, ଉପଭୋକ୍ତାଙ୍କର ଅଟେ |
ଯଦିଓ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଅଛି, ଏହାର ଏକ ଉପାଦାନ ଭାବରେ ଏହାର ଭଲ ସୁବିଧା ଅଛି |MOCVD ଉପକରଣ, କିନ୍ତୁ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଧାତବ ଅର୍ଗାନିକ୍ସର ଅବଶିଷ୍ଟ କାରଣରୁ ପାଉଡରକୁ କ୍ଷୟ କରିବ ଏବଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସର ସେବା ଜୀବନ ବହୁତ ହ୍ରାସ ପାଇବ |ଏଥି ସହିତ, ପଡୁଥିବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପାଉଡର ଚିପକୁ ପ୍ରଦୂଷଣ କରିବ |
ଆବରଣ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ଆବିର୍ଭାବ ଭୂପୃଷ୍ଠ ପାଉଡର ଫିକ୍ସିସନ ଯୋଗାଇପାରେ, ତାପଜ ଚାଳନାକୁ ବ enhance ାଇପାରେ ଏବଂ ଉତ୍ତାପ ବଣ୍ଟନକୁ ସମାନ କରିପାରେ, ଯାହା ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହୋଇପାରିଛି |ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍MOCVD ଉପକରଣପରିବେଶ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠ ଆବରଣ ନିମ୍ନଲିଖିତ ବ characteristics ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ ପୂରଣ କରିବା ଉଚିତ୍:
(1) ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ ସମ୍ପୁର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଗୁଡ଼ାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଘନତା ଭଲ, ନଚେତ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ କ୍ଷତିକାରକ ଗ୍ୟାସରେ କ୍ଷୟ ହେବା ସହଜ |
()) ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରଣ ଶକ୍ତି ଅଧିକ ଅଟେ ଯେ ଅନେକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ଚକ୍ର ପରେ ଆବରଣ ଖସିଯିବା ସହଜ ନୁହେଁ |
()) ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷତିକାରକ ବାତାବରଣରେ ଆବରଣର ବିଫଳତାକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ଏହାର ଭଲ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା ଅଛି |
କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା, ତାପଜ ଶକ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତାର SiC ର ସୁବିଧା ଅଛି, ଏବଂ GaN ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବାତାବରଣରେ ଭଲ କାମ କରିପାରିବ |ଏହା ସହିତ, SiC ର ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍ ଭିନ୍ନ, ତେଣୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସର ଭୂପୃଷ୍ଠ ଆବରଣ ପାଇଁ SiC ପସନ୍ଦିତ ପଦାର୍ଥ |
ବର୍ତ୍ତମାନ, ସାଧାରଣ SiC ମୁଖ୍ୟତ 3 3C, 4H ଏବଂ 6H ପ୍ରକାର, ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ସ୍ଫଟିକ୍ ପ୍ରକାରର SiC ବ୍ୟବହାର ଭିନ୍ନ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 4H-SiC ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ କରିପାରିବ;6H-SiC ସବୁଠାରୁ ସ୍ଥିର ଏବଂ ଫଟୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଉପକରଣ ତିଆରି କରିପାରିବ;GaN ସହିତ ଏହାର ସମାନ ଗଠନ ହେତୁ, 3C-SiC GaN epitaxial ସ୍ତର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ SiC-GaN RF ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ |3C-SiC ସାଧାରଣତ as ମଧ୍ୟ ଜଣାଶୁଣା |β-SiC, ଏବଂ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବ୍ୟବହାର |β-ସିସି ଏକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ପରି, ତେଣୁ |β-ସିସି ବର୍ତ୍ତମାନ ଆବରଣ ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର -06-2023 |